Granit to twardy i trwały materiał, często stosowany w budownictwie.Ma jednak również właściwości, które czynią go przydatnym w produkcji półprzewodników, szczególnie w wytwarzaniu i przetwarzaniu układów scalonych.Elementy granitowe, takie jak stoły granitowe i bloki granitowe, są szeroko stosowane ze względu na ich stabilność, płaskość i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.
Jednym z głównych zastosowań komponentów granitowych w produkcji półprzewodników jest proces produkcyjny.Płytki krzemowe, podstawowe elementy składowe układów scalonych, muszą być wytwarzane z dużą precyzją i dokładnością.Wszelkie zniekształcenia lub ruchy podczas procesu mogą prowadzić do defektów, które mogą mieć wpływ na jakość i funkcjonalność układów scalonych.Stoły granitowe, dzięki swojej wysokiej stabilności i płaskości, stanowią dobrą platformę dla sprzętu do obróbki płytek.Są również odporne na rozszerzalność i kurczenie termiczne spowodowane wymaganym w procesie ogrzewaniem i chłodzeniem.
Bloki granitowe są również stosowane w obróbce półprzewodników ze względu na ich stabilność termiczną.Podczas procesów trawienia lub osadzania do modyfikacji powierzchni płytki krzemowej stosuje się gorące gazy lub plazmę.Aby proces przebiegał wydajnie i dokładnie, należy kontrolować temperaturę płytki.Bloki granitowe dzięki niskiemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej pomagają ustabilizować temperaturę wafla, zmniejszając ryzyko wahań temperatury, które mogłyby mieć wpływ na jakość obrabianego materiału.
Oprócz procesów produkcyjnych i przetwarzania komponenty granitowe są również wykorzystywane na etapach metrologii i kontroli produkcji półprzewodników.Pomiary metrologiczne przeprowadza się w celu zapewnienia, że rozmiar, kształt i położenie struktur na płytce mieszczą się w wymaganych specyfikacjach.Bloki granitowe są używane jako wzorce odniesienia w tych pomiarach ze względu na ich stabilność wymiarową i dokładność.Wykorzystuje się je także na etapach inspekcji, gdzie pod dużym powiększeniem sprawdzana jest jakość układów scalonych.
Ogólnie rzecz biorąc, w ostatnich latach wzrosło wykorzystanie komponentów granitowych w produkcji półprzewodników.Potrzeba wysokiej precyzji, dokładności i stabilności w wytwarzaniu i przetwarzaniu układów scalonych spowodowała przyjęcie tych materiałów przez producentów półprzewodników.Unikalne właściwości granitu, takie jak jego twardość, stabilność i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, sprawiają, że jest to doskonały wybór do stosowania w tych procesach.Wraz z ciągłym rozwojem i udoskonalaniem technologii półprzewodników oczekuje się, że w przyszłości zastosowanie komponentów granitowych będzie nadal rosło.
Czas publikacji: 05 grudnia 2023 r