Granit to twardy i trwały materiał, często wykorzystywany w budownictwie. Posiada jednak również właściwości, które czynią go użytecznym w produkcji półprzewodników, a w szczególności w wytwarzaniu i przetwarzaniu układów scalonych. Elementy granitowe, takie jak stoły i bloki granitowe, są szeroko stosowane ze względu na stabilność, płaskość i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.
Jednym z głównych zastosowań elementów granitowych w produkcji półprzewodników jest proces produkcyjny. Wafle krzemowe, podstawowe elementy układów scalonych, muszą być wytwarzane z wysoką precyzją i dokładnością. Wszelkie odkształcenia lub przesunięcia w trakcie procesu mogą prowadzić do defektów, które mogą wpłynąć na jakość i funkcjonalność układów scalonych. Stoły granitowe, dzięki swojej wysokiej stabilności i płaskości, stanowią dobrą platformę dla urządzeń do obróbki płytek. Są one również odporne na rozszerzalność i kurczenie cieplne spowodowane nagrzewaniem i chłodzeniem wymaganym w procesie.
Bloki granitowe są również wykorzystywane w przetwórstwie półprzewodników ze względu na ich stabilność termiczną. Podczas procesów trawienia lub osadzania, do modyfikacji powierzchni płytki krzemowej stosuje się gorące gazy lub plazmę. Temperatura płytki musi być kontrolowana, aby zapewnić wydajne i dokładne przeprowadzenie procesu. Bloki granitowe, dzięki niskiemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej, pomagają stabilizować temperaturę płytki, zmniejszając ryzyko wahań temperatury, które mogłyby wpłynąć na jakość przetwarzanego materiału.
Oprócz procesów wytwarzania i przetwarzania, elementy granitowe są również wykorzystywane na etapach metrologii i kontroli produkcji półprzewodników. Pomiary metrologiczne przeprowadza się w celu zapewnienia zgodności rozmiaru, kształtu i położenia struktur na waflu z wymaganymi specyfikacjami. Bloki granitowe służą jako wzorce odniesienia w tych pomiarach ze względu na ich stabilność wymiarową i dokładność. Są one również wykorzystywane na etapach kontroli, gdzie jakość układów scalonych jest sprawdzana pod dużym powiększeniem.
Ogólnie rzecz biorąc, wykorzystanie komponentów granitowych w produkcji półprzewodników wzrosło w ostatnich latach. Potrzeba wysokiej precyzji, dokładności i stabilności w procesie wytwarzania i przetwarzania układów scalonych przyczyniła się do wzrostu popularności tych materiałów wśród producentów półprzewodników. Unikalne właściwości granitu, takie jak twardość, stabilność i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, czynią go doskonałym wyborem do zastosowania w tych procesach. Wraz z ciągłym rozwojem i udoskonalaniem technologii półprzewodnikowej, oczekuje się dalszego wzrostu wykorzystania komponentów granitowych w przyszłości.
Czas publikacji: 05-12-2023