Granit jest twardym i trwałym materiałem, który jest często używany w przemyśle budowlanym. Posiada jednak również właściwości, które czynią go użytecznym w produkcji półprzewodników, szczególnie w wytwarzaniu i przetwarzaniu układów scalonych. Elementy granitowe, takie jak stoły granitowe i bloki granitowe, są szeroko stosowane ze względu na ich stabilność, płaskość i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej.
Jednym z głównych zastosowań elementów granitowych w produkcji półprzewodników jest proces wytwarzania. Wafle krzemowe, podstawowe elementy układów scalonych, muszą być wytwarzane z wysoką precyzją i dokładnością. Wszelkie zniekształcenia lub ruchy podczas procesu mogą prowadzić do defektów, które mogą wpłynąć na jakość i funkcjonalność układów scalonych. Stoły granitowe, dzięki swojej wysokiej stabilności i płaskości, stanowią dobrą platformę dla sprzętu do przetwarzania płytek. Są również odporne na rozszerzalność cieplną i kurczenie się spowodowane nagrzewaniem i chłodzeniem wymaganym w procesie.
Bloki granitowe są również używane w przetwarzaniu półprzewodników ze względu na ich stabilność termiczną. Podczas procesów trawienia lub osadzania, gorące gazy lub plazmy są używane do modyfikowania powierzchni płytki krzemowej. Temperaturę płytki należy kontrolować, aby zapewnić wydajne i dokładne przeprowadzenie procesu. Bloki granitowe, dzięki niskiemu współczynnikowi rozszerzalności cieplnej, pomagają ustabilizować temperaturę płytki, zmniejszając ryzyko wahań temperatury, które mogłyby wpłynąć na jakość przetwarzanego materiału.
Oprócz procesów wytwarzania i przetwarzania, elementy granitowe są również wykorzystywane na etapach metrologii i kontroli produkcji półprzewodników. Pomiary metrologiczne są wykonywane w celu zapewnienia, że rozmiar, kształt i położenie struktur na waflu są zgodne z wymaganymi specyfikacjami. Bloki granitowe są wykorzystywane jako wzorce odniesienia w tych pomiarach ze względu na ich stabilność wymiarową i dokładność. Są one również wykorzystywane na etapach kontroli, gdzie jakość układów scalonych jest sprawdzana pod dużym powiększeniem.
Ogólnie rzecz biorąc, wykorzystanie elementów granitowych w produkcji półprzewodników wzrosło w ostatnich latach. Potrzeba wysokiej precyzji, dokładności i stabilności w produkcji i przetwarzaniu układów scalonych spowodowała przyjęcie tych materiałów przez producentów półprzewodników. Unikalne właściwości granitu, takie jak twardość, stabilność i niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, sprawiają, że jest on doskonałym wyborem do stosowania w tych procesach. Wraz z ciągłym rozwojem i udoskonalaniem technologii półprzewodnikowej oczekuje się, że wykorzystanie elementów granitowych będzie rosło w przyszłości.
Czas publikacji: 05-12-2023