Materiał – ceramika

♦Tlenek glinu (Al2O3)

Precyzyjne części ceramiczne produkowane przez ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) mogą być wykonane z surowców ceramicznych o wysokiej czystości, 92 ~ 97% tlenku glinu, 99,5% tlenku glinu, > 99,9% tlenku glinu i prasowania izostatycznego na zimno CIP.Spiekanie w wysokiej temperaturze i precyzyjna obróbka, dokładność wymiarowa ± 0,001 mm, gładkość do Ra0,1, temperatura użytkowania do 1600 stopni.Zgodnie z wymaganiami klientów możemy wykonać ceramikę w różnych kolorach, takich jak: czarny, biały, beżowy, ciemnoczerwony itp. Precyzyjne części ceramiczne produkowane przez naszą firmę są odporne na wysoką temperaturę, korozję, zużycie i izolację i mogą być używany przez długi czas w środowisku wysokiej temperatury, próżni i gazów korozyjnych.

Szeroko stosowane w różnych urządzeniach do produkcji półprzewodników: ramy (wspornik ceramiczny), podłoże (podstawa), ramię/mostek (manipulator), elementy mechaniczne i ceramiczne łożysko powietrzne.

AL2O3

Nazwa produktu Kwadratowa rura / rura / pręt z tlenku glinu o wysokiej czystości 99
Indeks Jednostka 85% Al2O3 95% Al2O3 99% Al2O3 99,5% Al2O3
Gęstość g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Absorpcja wody % <0,1 <0,1 0 0
Temperatura spiekania 1620 1650 1800 1800
Twardość Mohsa 7 9 9 9
Wytrzymałość na zginanie (20 ℃)) MPa 200 300 340 360
Wytrzymałość na ściskanie Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Długotrwała temperatura pracy 1350 1400 1600 1650
Maks.Temperatura pracy 1450 1600 1800 1800
Rezystywność objętościowa 20℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Zastosowanie ceramiki z tlenku glinu o wysokiej czystości:
1. Stosowane do sprzętu półprzewodnikowego: ceramiczny uchwyt próżniowy, tarcza tnąca, tarcza czyszcząca, ceramiczny UCHWYT.
2. Części do przenoszenia płytek: uchwyty do przenoszenia płytek, tarcze do cięcia płytek, tarcze do czyszczenia płytek, przyssawki do kontroli optycznej płytek.
3. Przemysł płaskich wyświetlaczy LED / LCD: dysza ceramiczna, ceramiczna tarcza szlifierska, LIFT PIN, szyna PIN.
4. Komunikacja optyczna, przemysł solarny: rury ceramiczne, pręty ceramiczne, skrobaki ceramiczne do sitodruku na płytkach drukowanych.
5. Części żaroodporne i izolujące elektrycznie: łożyska ceramiczne.
Obecnie ceramikę z tlenku glinu można podzielić na ceramikę o wysokiej czystości i ceramikę zwykłą.Seria ceramiki z tlenku glinu o wysokiej czystości odnosi się do materiału ceramicznego zawierającego ponad 99,9% Al₂O₃.Ze względu na temperaturę spiekania do 1650 - 1990°C i długość fali transmisji wynoszącą 1 ~ 6 μm, zamiast tygla platynowego, przetwarza się go zwykle na topione szkło, które może być stosowane jako rurka sodowa ze względu na przepuszczalność światła i odporność na korozję metal alkaliczny.W przemyśle elektronicznym może być stosowany jako materiał izolacyjny wysokiej częstotliwości do podłoży układów scalonych.Według różnej zawartości tlenku glinu, typową serię ceramiki z tlenku glinu można podzielić na ceramikę 99, ceramikę 95, ceramikę 90 i ceramikę 85.Czasami ceramika zawierająca 80% lub 75% tlenku glinu jest również klasyfikowana jako zwykła seria ceramiki z tlenku glinu.Wśród nich 99 materiałów ceramicznych z tlenku glinu służy do produkcji tygla wysokotemperaturowego, ognioodpornej rury pieca i specjalnych materiałów odpornych na zużycie, takich jak łożyska ceramiczne, uszczelki ceramiczne i płytki zaworowe.Ceramika aluminiowa 95 jest stosowana głównie jako część odporna na korozję i odporna na zużycie.Ceramikę 85 często łączy się z pewnymi właściwościami, poprawiając w ten sposób parametry elektryczne i wytrzymałość mechaniczną.Może wykorzystywać molibden, niob, tantal i inne uszczelnienia metalowe, a niektóre są używane jako elektryczne urządzenia próżniowe.

 

Element jakości (wartość reprezentatywna) Nazwa produktu AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Skład chemiczny Produkt łatwy do spiekania o niskiej zawartości sodu H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Kupa śmiechu % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Średnia średnica cząstek (MT-3300, metoda analizy laserowej) um 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
Rozmiar kryształu α um 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Gęstość formowania** g/cm3 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2,57 2,56
Gęstość spiekania** g/cm3 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Szybkość kurczenia się linii spiekania** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO nie jest uwzględniane w obliczeniach czystości Al₂O₃.
* Bez proszku kamienia 29,4 MPa (300kg/cm²), temperatura spiekania 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Dodaj 0,05 ~ 0,1% MgO, spiekalność jest doskonała, dlatego można go stosować do ceramiki z tlenku glinu o czystości ponad 99%.
AES-22S: Charakteryzuje się wysoką gęstością formowania i niskim współczynnikiem kurczenia się linii spiekania, ma zastosowanie do odlewania w formie ślizgowej i innych produktów na dużą skalę z wymaganą dokładnością wymiarową.
AES-23 / AES-31-03: Ma wyższą gęstość formowania, tiksotropię i niższą lepkość niż AES-22S.pierwszy jest stosowany w ceramice, drugi jako reduktor wody w materiałach ognioodpornych, zyskując coraz większą popularność.

♦ Charakterystyka węglika krzemu (SiC).

Charakterystyka ogólna Czystość głównych składników (% wag.) 97
Kolor Czarny
Gęstość (g/cm3) 3.1
Absorpcja wody (%) 0
Właściwości mechaniczne Wytrzymałość na zginanie (MPa) 400
Moduł Younga (GPa) 400
Twardość Vickersa (GPa) 20
Charakterystyka termiczna Maksymalna temperatura robocza (°C) 1600
Współczynnik rozszerzalności cieplnej Temperatura otoczenia~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) Temperatura otoczenia~800°C 4.3
Przewodność cieplna (W/m x K) 130 110
Odporność na szok termiczny ΔT (°C) 300
Parametry elektryczne Rezystywność objętościowa 25°C 3x106
300°C -
500°C -
800°C -
Stała dielektryczna 10 GHz -
Strata dielektryczna (x 10-4) -
Współczynnik Q (x 104) -
Napięcie przebicia dielektryka (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Ceramika z azotku krzemu

Materiał Jednostka Si₃N₄
Metoda spiekania - Spiekane pod ciśnieniem gazu
Gęstość g/cm3 3.22
Kolor - Ciemno szary
Szybkość wchłaniania wody % 0
Moduł młodego GP 290
Twardość Vickersa GP 18 - 20
Wytrzymałość na ściskanie MPa 2200
Siła wyginania MPa 650
Przewodność cieplna W/mK 25
Odporność na szok termiczny Δ (°C) 450 - 650
Maksymalna temperatura robocza °C 1200
Rezystywność objętościowa Ω·cm > 10^14
Stała dielektryczna - 8.2
Wytrzymałość dielektryczna kV/mm 16