♦ Alumina (Al2O3)
Precyzyjne części ceramiczne wytwarzane przez Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg) mogą być wykonane z surowców ceramicznych o wysokiej czystości, 92 ~ 97% tlenku glinu, 99,5% tlenku glinu,> 99,9% tlenku glinu i CIP zimnotnie. Spiekanie w wysokiej temperaturze i precyzyjne obróbka, dokładność wymiarowa ± 0,001 mm, gładkość do RA0.1, wykorzystują temperaturę do 1600 stopni. Różne kolory ceramiki można wykonać zgodnie z wymaganiami klientów, takimi jak: czarny, biały, beżowy, ciemnoczerwony itp. Precyzyjne części ceramiczne wytwarzane przez naszą firmę są odporne na wysoką temperaturę, korozję, zużycie i izolację, i mogą być stosowane przez długi czas w wysokiej temperaturze, próżni i środowisku gazowym.
Powszechnie stosowane w różnych urządzeniach do produkcji półprzewodników: ramki (wspornik ceramiczny), podłoże (podstawa), ramię/ most (manipulator), elementy mechaniczne i ceramiczne łożysko powietrza.
Nazwa produktu | Wysoka czystość 99 Alumina ceramiczna kwadratowa rurka / rura / pręt | |||||
Indeks | Jednostka | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Gęstość | G/CM3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorpcja wody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Spiekana temperatura | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Twardość | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Siła zginania (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Siła ściskająca | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Długoletnia temperatura | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max. Temperatura pracy | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Rezystywność objętościowa | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Zastosowanie ceramiki glinu o wysokiej czystości:
1. Zastosowano do sprzętu półprzewodnikowego: ceramiczny chuck, tnąca dysk, dysk czyszczący, ceramiczny chuck.
2. Części transferowe waflowe: Obsługa waflowe, przyczepy do cięcia płytki, płyty do czyszczenia płytki, optyczne kubki inspekcji optycznej.
3. LED / LCD Płaski panelu Przemysł: dysza ceramiczna, ceramiczny dysk mielenia, szpilka, szyna.
4. Komunikacja optyczna, przemysł słoneczny: rurki ceramiczne, pręty ceramiczne, ekran ekranu płytki drukowanej.
5. Części oporne na ciepło i elektrycznie izolacyjne: łożyska ceramiczne.
Obecnie ceramika tlenku glinu można podzielić na wysoką czystość i wspólną ceramikę. Seria ceramiki tlenku o wysokiej czystości odnosi się do materiału ceramicznego zawierającego ponad 99,9% Al₂o₃. Ze względu na temperaturę spiekania do 1650–1990 ° C i długość fali transmisyjnej 1 ~ 6 μm, jest zwykle przetwarzana w połączone szkło zamiast tygla platynowego: który może być stosowany jako rurka sodu ze względu na jej światło transmitancji i odporność na korozję na metal alkaliczny. W branży elektronicznej może być stosowany jako materiał izolacyjny o wysokiej częstotliwości dla podłożów IC. Według różnych treści tlenku glinu wspólne serie ceramiczne tlenku glinu można podzielić na 99 ceramiki, 95 ceramiki, 90 ceramiki i 85 ceramiki. Czasami ceramika z 80% lub 75% tlenku glinu jest również klasyfikowana jako powszechna seria ceramiczna tlenku glinu. Wśród nich 99 tlenku aluminiowego materiału ceramicznego stosuje się do wytwarzania tygla o wysokiej temperaturze, rurce pieca ognioodpornego i specjalnych materiałów opornych na zużycie, takich jak łożyska ceramiczne, uszczelki ceramiczne i płytki zaworów. 95 Ceramika aluminiowa jest stosowana głównie jako część odporna na korozję. 85 Ceramika jest często mieszana w niektórych właściwościach, a tym samym poprawiając wydajność elektryczną i siłę mechaniczną. Może używać molibdenum, niobium, tantalum i innych metalowych uszczelek, a niektóre są wykorzystywane jako elektryczne urządzenia próżniowe.
Pozycja jakości (wartość reprezentatywna) | Nazwa produktu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11f | AES-22s | AES-23 | Al-31-03 | |
Skład chemiczny produkt o niskim poziomie spiekania | H₂o | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
Kupa śmiechu | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MGO* | % | - | 0.11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Średnica cząstek średniej (MT-3300, metoda analizy laserowej) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Rozmiar kryształu α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Gęstość formowania ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Gęstość spiekania ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Kurczenie się linii spiekania ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO nie jest uwzględnione w obliczaniu czystości Al₂o₃.
* Brak proszku do skalowania 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura spiekania wynosi 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Dodaj 0,05 ~ 0,1% MGO, spiekanie jest doskonałe, więc ma zastosowanie do ceramiki tlenku glinu o czystości ponad 99%.
AES-22s: Charakteryzujący się wysoką gęstością formowania i niską kurczeniem się linii spiekania, ma zastosowanie do odlewania z poślizgu i innych produktów na dużą skalę o wymaganej dokładności wymiarowej.
AES-23 / AES-31-03: Ma wyższą gęstość formowania, tixotropię i niższą lepkość niż AES-22. Pierwszy z nich jest używany do ceramiki, podczas gdy drugi jest używany jako reduktor wody do materiałów ognioodpornych, zyskując popularność.
♦ Charakterystyka węglików krzemowych (SIC)
Ogólne cechy | Czystość głównych składników (WT%) | 97 | |
Kolor | Czarny | ||
Gęstość (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpcja wody (%) | 0 | ||
Charakterystyka mechaniczna | Siła zginania (MPA) | 400 | |
Młody moduł (GPA) | 400 | ||
Vickers Hardness (GPA) | 20 | ||
Charakterystyka termiczna | Maksymalna temperatura robocza (° C) | 1600 | |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Przewodność cieplna (w/m x k) | 130 110 | ||
Oporność na wstrząsy termiczne ΔT (° C) | 300 | ||
Charakterystyka elektryczna | Rezystywność objętościowa | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Stała dielektryczna | 10 GHz | - | |
Strata dielektryczna (x 10-4) | - | ||
Współczynnik Q (x 104) | - | ||
Napięcie podziału dielektrycznego (kV/mm) | - |
♦ Ceramika azotku krzemowego
Tworzywo | Jednostka | Si₃n₄ |
Metoda spiekania | - | Ciśnienie gazowe spiekało się |
Gęstość | g/cm³ | 3.22 |
Kolor | - | Ciemnoszary |
Szybkość wchłaniania wody | % | 0 |
Młody moduł | GPA | 290 |
Twardość Vickersa | GPA | 18 - 20 |
Siła ściskająca | MPA | 2200 |
Siła zginania | MPA | 650 |
Przewodność cieplna | W/mk | 25 |
Odporność na wstrząsy termiczne | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maksymalna temperatura robocza | ° C. | 1200 |
Rezystywność objętościowa | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Stała dielektryczna | - | 8.2 |
Siła dielektryczna | KV/mm | 16 |