♦Tlenek glinu (Al2O3)
Precyzyjne części ceramiczne produkowane przez ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) mogą być wykonane z surowców ceramicznych o wysokiej czystości, 92 ~ 97% tlenku glinu, 99,5% tlenku glinu, > 99,9% tlenku glinu i prasowania izostatycznego na zimno CIP.Spiekanie w wysokiej temperaturze i precyzyjna obróbka, dokładność wymiarowa ± 0,001 mm, gładkość do Ra0,1, temperatura użytkowania do 1600 stopni.Zgodnie z wymaganiami klientów możemy wykonać ceramikę w różnych kolorach, takich jak: czarny, biały, beżowy, ciemnoczerwony itp. Precyzyjne części ceramiczne produkowane przez naszą firmę są odporne na wysoką temperaturę, korozję, zużycie i izolację i mogą być używany przez długi czas w środowisku wysokiej temperatury, próżni i gazów korozyjnych.
Szeroko stosowane w różnych urządzeniach do produkcji półprzewodników: ramy (wspornik ceramiczny), podłoże (podstawa), ramię/mostek (manipulator), elementy mechaniczne i ceramiczne łożysko powietrzne.
Nazwa produktu | Kwadratowa rura / rura / pręt z tlenku glinu o wysokiej czystości 99 | |||||
Indeks | Jednostka | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99,5% Al2O3 | |
Gęstość | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorpcja wody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura spiekania | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Twardość | Mohsa | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Wytrzymałość na zginanie (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Wytrzymałość na ściskanie | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Długotrwała temperatura pracy | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks.Temperatura pracy | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Rezystywność objętościowa | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Zastosowanie ceramiki z tlenku glinu o wysokiej czystości:
1. Stosowane do sprzętu półprzewodnikowego: ceramiczny uchwyt próżniowy, tarcza tnąca, tarcza czyszcząca, ceramiczny UCHWYT.
2. Części do przenoszenia płytek: uchwyty do przenoszenia płytek, tarcze do cięcia płytek, tarcze do czyszczenia płytek, przyssawki do kontroli optycznej płytek.
3. Przemysł płaskich wyświetlaczy LED / LCD: dysza ceramiczna, ceramiczna tarcza szlifierska, LIFT PIN, szyna PIN.
4. Komunikacja optyczna, przemysł solarny: rury ceramiczne, pręty ceramiczne, skrobaki ceramiczne do sitodruku na płytkach drukowanych.
5. Części żaroodporne i izolujące elektrycznie: łożyska ceramiczne.
Obecnie ceramikę z tlenku glinu można podzielić na ceramikę o wysokiej czystości i ceramikę zwykłą.Seria ceramiki z tlenku glinu o wysokiej czystości odnosi się do materiału ceramicznego zawierającego ponad 99,9% Al₂O₃.Ze względu na temperaturę spiekania do 1650 - 1990°C i długość fali transmisji wynoszącą 1 ~ 6 μm, zamiast tygla platynowego, przetwarza się go zwykle na topione szkło, które może być stosowane jako rurka sodowa ze względu na przepuszczalność światła i odporność na korozję metal alkaliczny.W przemyśle elektronicznym może być stosowany jako materiał izolacyjny wysokiej częstotliwości do podłoży układów scalonych.Według różnej zawartości tlenku glinu, typową serię ceramiki z tlenku glinu można podzielić na ceramikę 99, ceramikę 95, ceramikę 90 i ceramikę 85.Czasami ceramika zawierająca 80% lub 75% tlenku glinu jest również klasyfikowana jako zwykła seria ceramiki z tlenku glinu.Wśród nich 99 materiałów ceramicznych z tlenku glinu służy do produkcji tygla wysokotemperaturowego, ognioodpornej rury pieca i specjalnych materiałów odpornych na zużycie, takich jak łożyska ceramiczne, uszczelki ceramiczne i płytki zaworowe.Ceramika aluminiowa 95 jest stosowana głównie jako część odporna na korozję i odporna na zużycie.Ceramikę 85 często łączy się z pewnymi właściwościami, poprawiając w ten sposób parametry elektryczne i wytrzymałość mechaniczną.Może wykorzystywać molibden, niob, tantal i inne uszczelnienia metalowe, a niektóre są używane jako elektryczne urządzenia próżniowe.
Element jakości (wartość reprezentatywna) | Nazwa produktu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Skład chemiczny Produkt łatwy do spiekania o niskiej zawartości sodu | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Kupa śmiechu | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Średnia średnica cząstek (MT-3300, metoda analizy laserowej) | um | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Rozmiar kryształu α | um | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Gęstość formowania** | g/cm3 | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2,57 | 2,56 | |
Gęstość spiekania** | g/cm3 | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Szybkość kurczenia się linii spiekania** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO nie jest uwzględniane w obliczeniach czystości Al₂O₃.
* Bez proszku kamienia 29,4 MPa (300kg/cm²), temperatura spiekania 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Dodaj 0,05 ~ 0,1% MgO, spiekalność jest doskonała, dlatego można go stosować do ceramiki z tlenku glinu o czystości ponad 99%.
AES-22S: Charakteryzuje się wysoką gęstością formowania i niskim współczynnikiem kurczenia się linii spiekania, ma zastosowanie do odlewania w formie ślizgowej i innych produktów na dużą skalę z wymaganą dokładnością wymiarową.
AES-23 / AES-31-03: Ma wyższą gęstość formowania, tiksotropię i niższą lepkość niż AES-22S.pierwszy jest stosowany w ceramice, drugi jako reduktor wody w materiałach ognioodpornych, zyskując coraz większą popularność.
♦ Charakterystyka węglika krzemu (SiC).
Charakterystyka ogólna | Czystość głównych składników (% wag.) | 97 | |
Kolor | Czarny | ||
Gęstość (g/cm3) | 3.1 | ||
Absorpcja wody (%) | 0 | ||
Właściwości mechaniczne | Wytrzymałość na zginanie (MPa) | 400 | |
Moduł Younga (GPa) | 400 | ||
Twardość Vickersa (GPa) | 20 | ||
Charakterystyka termiczna | Maksymalna temperatura robocza (°C) | 1600 | |
Współczynnik rozszerzalności cieplnej | Temperatura otoczenia~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | Temperatura otoczenia~800°C | 4.3 | |
Przewodność cieplna (W/m x K) | 130 110 | ||
Odporność na szok termiczny ΔT (°C) | 300 | ||
Parametry elektryczne | Rezystywność objętościowa | 25°C | 3x106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Stała dielektryczna | 10 GHz | - | |
Strata dielektryczna (x 10-4) | - | ||
Współczynnik Q (x 104) | - | ||
Napięcie przebicia dielektryka (KV/mm) | - |
♦Ceramika z azotku krzemu
Materiał | Jednostka | Si₃N₄ |
Metoda spiekania | - | Spiekane pod ciśnieniem gazu |
Gęstość | g/cm3 | 3.22 |
Kolor | - | Ciemno szary |
Szybkość wchłaniania wody | % | 0 |
Moduł młodego | GP | 290 |
Twardość Vickersa | GP | 18 - 20 |
Wytrzymałość na ściskanie | MPa | 2200 |
Siła wyginania | MPa | 650 |
Przewodność cieplna | W/mK | 25 |
Odporność na szok termiczny | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maksymalna temperatura robocza | °C | 1200 |
Rezystywność objętościowa | Ω·cm | > 10^14 |
Stała dielektryczna | - | 8.2 |
Wytrzymałość dielektryczna | kV/mm | 16 |