W dziedzinach produkcji high-end i najnowocześniejszych badań naukowych, precyzyjna platforma z unoszącym się powietrzem o ciśnieniu statycznym jest kluczowym sprzętem do osiągnięcia ultraprecyzyjnej pracy. Granitowa precyzyjna podstawa jest rdzeniem wspierającym część platformy, a jej wydajność jest ściśle związana ze środowiskiem pracy. Zrozumienie i spełnienie tych wymagań środowiskowych może nie tylko zapewnić wysoce precyzyjną pracę platformy, ale także ważną część przedsiębiorstwa w celu zwiększenia jego konkurencyjności w pokrewnych dziedzinach, co opisano szczegółowo poniżej.
1. Temperatura: precyzyjna kontrola w celu zapewnienia stabilności wymiarowej
Chociaż granit jest znany ze swojej stabilności, jego współczynnik rozszerzalności cieplnej nie jest zerowy, a niewielkie zmiany temperatury mogą nadal wpływać na dokładność wymiarową. Mówiąc ogólnie, współczynnik rozszerzalności cieplnej granitu wynosi 5-7 ×10⁻⁶/℃. W scenariuszu zastosowania precyzyjnej platformy ruchu unoszącego się powietrza pod ciśnieniem statycznym ta niewielka zmiana jest wzmacniana przez platformę, co może prowadzić do odchylenia dokładności ruchu. Na przykład w procesie produkcji układów scalonych półprzewodnikowych, procesie litografii w celu spełnienia wymagań dokładności pozycjonowania poziomu danami, wahania temperatury otoczenia o 1 ° C, długość boku 1-metrowej podstawy granitowej może powodować 5-7 mikronów liniowej ekspansji lub kurczenia się, co wystarcza, aby odchylenie wzoru litografii układu scalonego zmniejszyło wydajność. Dlatego precyzyjna platforma pływająca o ciśnieniu statycznym wyposażona w precyzyjną granitową podstawę, idealna temperatura środowiska pracy powinna być ściśle kontrolowana na poziomie 20 ° C ± 1 ° C, przedsiębiorstwa mogą instalować precyzyjny system klimatyzacji o stałej temperaturze, stale monitorować i dokładnie regulować temperaturę otoczenia, utrzymywać stabilność wielkości granitowej podstawy, aby zapewnić wysoką precyzję działania platformy.
2. Wilgotność: rozsądna kontrola, ochrona wydajności bazowej
Wilgotność ma również znaczący wpływ na precyzyjne podstawy granitowe. W środowisku o wysokiej wilgotności granit łatwo wchłania parę wodną, a na powierzchni może występować kondensacja, która nie tylko zakłóci normalną pracę układu flotacji powietrznej, ale także doprowadzi do długotrwałej erozji powierzchni granitu, zmniejszając jego dokładność i żywotność. Biorąc za przykład warsztat szlifowania soczewek optycznych, jeśli wilgotność jest wyższa niż 60% RH przez długi czas, para wodna zaadsorbowana na powierzchni podstawy granitowej zniszczy jednorodność filmu flotacji powietrznej, co spowoduje zmniejszenie dokładności szlifowania soczewek i wady powierzchni. Dlatego wilgotność względna środowiska pracy musi być kontrolowana w zakresie 40%–60% RH. Przedsiębiorstwa mogą używać osuszaczy powietrza, czujników wilgotności i innego sprzętu do monitorowania i kontrolowania wilgotności w czasie rzeczywistym, tworzenia odpowiedniego środowiska wilgotności dla precyzyjnej podstawy granitowej i zapewniania stabilnej pracy precyzyjnej platformy ruchu unoszącego powietrze pod ciśnieniem statycznym.
3. czystość: ścisła kontrola, eliminacja zakłóceń cząsteczkowych
Cząsteczki pyłu są „wrogiem” precyzyjnej platformy ruchu powietrznego o ciśnieniu statycznym i wyrządzają duże szkody granitowej precyzyjnej podstawie. Gdy drobne cząsteczki dostaną się do szczeliny filmu gazowego między suwakiem pływaka gazowego a granitową podstawą, mogą zniszczyć jednorodność filmu gazowego, zwiększyć tarcie, a nawet zarysować powierzchnię podstawy, poważnie wpływając na dokładność ruchu platformy. W warsztacie obróbki ultraprecyzyjnej części lotniczych, jeśli cząsteczki pyłu w powietrzu spadną na granitową podstawę, trajektoria ruchu narzędzia obróbczego może zostać odchylona, co wpłynie na dokładność obróbki części. Dlatego obszar roboczy powinien być utrzymywany w wysokiej czystości i osiągnąć standard czystości 10 000 lub nawet wyższy. Przedsiębiorstwa mogą filtrować cząsteczki pyłu w powietrzu, instalując wysokowydajne filtry powietrza (HEPA) i wymagać od personelu noszenia odzieży bezpyłowej, ochraniaczy na buty itp., aby zmniejszyć kurz wnoszony przez ludzi i utrzymać precyzyjne środowisko pracy granitowej podstawy i precyzyjnej platformy ruchu powietrznego o ciśnieniu statycznym.
4. Wibracje: skuteczna izolacja, która tworzy gładką przestrzeń
Zewnętrzne drgania poważnie zakłócą precyzję precyzyjnej statycznej platformy powietrznej, chociaż precyzyjna granitowa podstawa ma pewną zdolność tłumienia drgań, ale drgania o dużej wytrzymałości mogą nadal przekraczać jej limit buforowy. Drgania generowane przez ruch wokół fabryki i działanie dużego sprzętu mechanicznego są przenoszone na granitową podstawę przez podłoże, co będzie zakłócać dokładność ruchu platformy. W przypadku wysokiej klasy współrzędnościowych maszyn pomiarowych drgania mogą powodować niestabilność styku sondy pomiarowej z mierzonym przedmiotem, co skutkuje odchyleniem danych pomiarowych. Aby rozwiązać ten problem, konieczne jest przyjęcie skutecznych środków izolacji drgań, takich jak układanie podkładek izolujących drgania w obszarze instalacji sprzętu, budowanie fundamentu izolującego drgania lub stosowanie aktywnego systemu izolacji drgań w celu aktywnego kompensowania drgań zewnętrznych i tworzenia cichego i stabilnego środowiska pracy dla precyzyjnej granitowej podstawy i precyzyjnej statycznej platformy powietrznej.
Spełnij powyższe wymagania środowiskowe, aby w pełni wykorzystać zalety precyzyjnej podstawy granitowej w precyzyjnej platformie ruchu powietrznego o ciśnieniu statycznym, aby zapewnić, że platforma zapewnia usługi sterowania ruchem o wysokiej precyzji i wysokiej stabilności dla różnych branż. Jeśli przedsiębiorstwa będą mogły zwrócić uwagę na te szczegóły w środowisku produkcyjnym, wykorzystają okazję w produkcji precyzyjnej, badaniach naukowych i innych dziedzinach, zwiększą swoją konkurencyjność i osiągną zrównoważony rozwój.
Czas publikacji: 10-kwi-2025