Komponenty granitowe są szeroko stosowane w procesie produkcji półprzewodników ze względu na ich doskonałe właściwości, takie jak doskonałe wykończenie powierzchni, wysoka sztywność i doskonałe tłumienie drgań. Komponenty granitowe są niezbędne dla sprzętu do produkcji półprzewodników, w tym maszyn litograficznych, maszyn polerujących i systemów metrologicznych, ponieważ zapewniają precyzyjne pozycjonowanie i stabilność podczas procesu produkcji. Pomimo wszystkich zalet stosowania komponentów granitowych, mają one również wady. W tym artykule omówimy wady komponentów granitowych dla produktów procesu produkcji półprzewodników.
Po pierwsze, elementy granitowe mają wysoki współczynnik rozszerzalności cieplnej. Oznacza to, że znacznie się rozszerzają pod wpływem naprężeń cieplnych, co może powodować problemy w procesie produkcyjnym. Proces produkcji półprzewodników wymaga wysokiej precyzji i dokładności wymiarowej, które mogą zostać naruszone z powodu naprężeń cieplnych. Na przykład odkształcenie płytki krzemowej z powodu rozszerzalności cieplnej może powodować problemy z wyrównaniem podczas litografii, co może mieć negatywny wpływ na jakość urządzenia półprzewodnikowego.
Po drugie, elementy granitowe mają wady porowatości, które mogą powodować nieszczelności próżniowe w procesie produkcji półprzewodników. Obecność powietrza lub innego gazu w systemie może powodować zanieczyszczenie powierzchni wafla, co może skutkować wadami, które mogą wpłynąć na wydajność urządzenia półprzewodnikowego. Gazy obojętne, takie jak argon i hel, mogą przedostać się do porowatych elementów granitowych i tworzyć pęcherzyki gazu, które mogą zakłócać integralność procesu próżniowego.
Po trzecie, elementy granitowe mają mikropęknięcia, które mogą zakłócać precyzję procesu produkcyjnego. Granit jest kruchym materiałem, który może z czasem wytworzyć mikropęknięcia, zwłaszcza gdy jest narażony na stałe cykle naprężeń. Obecność mikropęknięć może prowadzić do niestabilności wymiarowej, powodując poważne problemy w procesie produkcyjnym, takie jak wyrównywanie litografii lub polerowanie płytek.
Po czwarte, elementy granitowe mają ograniczoną elastyczność. Proces produkcji półprzewodników wymaga elastycznego sprzętu, który mógłby dostosować się do różnych zmian procesu. Jednak elementy granitowe są sztywne i nie mogą dostosować się do różnych zmian procesu. Dlatego wszelkie zmiany w procesie produkcyjnym wymagają usunięcia lub wymiany elementów granitowych, co prowadzi do przestojów i wpływa na wydajność.
Po piąte, elementy granitowe wymagają specjalnej obsługi i transportu ze względu na ich wagę i kruchość. Granit jest gęstym i ciężkim materiałem, który wymaga specjalistycznego sprzętu do obsługi, takiego jak dźwigi i podnośniki. Ponadto elementy granitowe wymagają starannego pakowania i transportu, aby zapobiec uszkodzeniom podczas wysyłki, co prowadzi do dodatkowych kosztów i czasu.
Podsumowując, komponenty granitowe mają pewne wady, które mogą wpłynąć na jakość i wydajność produktów procesu produkcji półprzewodników. Wady te można zminimalizować poprzez ostrożne obchodzenie się z komponentami granitowymi i ich konserwację, w tym okresowe kontrole pod kątem mikropęknięć i wad porowatości, odpowiednie czyszczenie w celu zapobiegania zanieczyszczeniom i ostrożne obchodzenie się z nimi podczas transportu. Pomimo wad komponenty granitowe pozostają istotną częścią procesu produkcji półprzewodników ze względu na ich doskonałe wykończenie powierzchni, wysoką sztywność i doskonałe tłumienie drgań.
Czas publikacji: 05-12-2023