Składniki granitowe były szeroko stosowane w procesie produkcji półprzewodników ze względu na ich doskonałe cechy, takie jak doskonałe wykończenie powierzchni, wysoka sztywność i doskonałe tłumienie wibracji. Komponenty granitowe są niezbędne dla sprzętu do produkcji półprzewodnikowej, w tym maszyn litograficznych, maszyn polerniczych i systemów metrologii, ponieważ zapewniają precyzyjne pozycjonowanie i stabilność podczas procesu produkcyjnego. Pomimo wszystkich zalet stosowania składników granitowych, mają one również wady. W tym artykule omówimy wady komponentów granitowych dla produktów do produkcji półprzewodników.
Po pierwsze, składniki granitowe mają wysoki współczynnik rozszerzalności cieplnej. Oznacza to, że znacznie rozszerzają się przy stresie termicznym, co może powodować problemy podczas procesu produkcyjnego. Proces produkcji półprzewodnikowej wymaga wysokiej precyzji i dokładności wymiarowej, które można zagrożone z powodu naprężenia termicznego. Na przykład deformacja płytki krzemu z powodu rozszerzania cieplnego może powodować problemy z wyrównaniem podczas litografii, co może zagrozić jakości urządzenia półprzewodnikowego.
Po drugie, składniki granitowe mają wady porowatości, które mogą powodować wycieki próżniowe w procesie produkcji półprzewodników. Obecność powietrza lub dowolnego innego gazu w układzie może spowodować zanieczyszczenie powierzchni opłatek, powodując wady, które mogą wpływać na wydajność urządzenia półprzewodnikowego. Gazy obojętne, takie jak argon i hel, mogą przenikać na porowate granitowe komponenty i tworzyć bąbelki gazowe, które mogą zakłócać integralność procesu próżniowego.
Po trzecie, składniki granitowe mają mikrofrakcje, które mogłyby zakłócać precyzję procesu produkcyjnego. Granit jest kruchym materiałem, który z czasem może rozwinąć mikrofrakcje, szczególnie w przypadku ciągłych cykli naprężeń. Obecność mikrofrakcji może prowadzić do niestabilności wymiarowej, powodując znaczące problemy podczas procesu produkcyjnego, takie jak wyrównanie litografii lub polerowanie opłat.
Po czwarte, składniki granitowe mają ograniczoną elastyczność. Proces produkcji półprzewodników wymaga elastycznego sprzętu, który może pomieścić różne zmiany procesu. Jednak składniki granitowe są sztywne i nie mogą dostosowywać się do różnych zmian procesu. Dlatego wszelkie zmiany w procesie produkcyjnym wymagają usunięcia lub wymiany składników granitowych, co prowadzi do przestoju i wpływającego na wydajność.
Po piąte, składniki granitowe wymagają specjalnego obchodzenia się i transportu ze względu na ich wagę i kruchość. Granit to gęsty i ciężki materiał, który wymaga wyspecjalizowanego sprzętu do obsługi, takiego jak dźwigi i podnośniki. Ponadto granitowe elementy wymagają starannego pakowania i transportu, aby zapobiec szkodom podczas wysyłki, co prowadzi do dodatkowych kosztów i czasu.
Podsumowując, składniki granitowe mają pewne wady, które mogą wpływać na jakość i wydajność produktów produkcyjnych produkcji półprzewodników. Wady te można zminimalizować poprzez staranne obsługę i utrzymanie składników granitowych, w tym okresowej kontroli mikrofrakcji i wad porowatości, odpowiedniego czyszczenia w celu zapobiegania zanieczyszczeniu oraz starannego obsługi podczas transportu. Pomimo wad, składniki granitowe pozostają istotną częścią procesu produkcji półprzewodników ze względu na ich doskonałe wykończenie powierzchni, wysoką sztywność i doskonałe tłumienie wibracji.
Czas postu: grudzień 05-2023