Produkcja półprzewodników: W procesie produkcji chipów proces fotolitografii musi precyzyjnie przenieść wzór obwodu na wafel. Granitowa podstawa jednoosiowego modułu ruchu ultraprecyzyjnego z unoszeniem się w powietrzu może zapewnić precyzyjne pozycjonowanie i stabilne podparcie stołu z waflem w sprzęcie litograficznym. Na przykład ASML i inni znani na całym świecie producenci maszyn litograficznych używają modułów ruchu z unoszeniem się w powietrzu z granitową podstawą w swoim sprzęcie high-end, który może kontrolować dokładność pozycjonowania wafla na poziomie nanometrów, aby zapewnić dokładność wzoru litograficznego, poprawiając w ten sposób integrację i wydajność chipa.
Obszar precyzyjnych pomiarów: CMM to precyzyjny sprzęt pomiarowy powszechnie stosowany w produkcji przemysłowej, który służy do pomiaru rozmiaru, kształtu i dokładności położenia przedmiotu obrabianego. Ultraprecyzyjny moduł ruchu jednoosiowego pływaka powietrznego na granitowej podstawie może być używany jako platforma ruchu CMM, która może realizować wysoce precyzyjny ruch liniowy i zapewniać stabilną trajektorię ruchu dla sondy pomiarowej. Na przykład wysokiej klasy CMM firmy Hexagon wykorzystuje tę kombinację do pomiaru dużych i złożonych części z dokładnością pomiaru do poziomu mikronów, zapewniając mocną gwarancję kontroli jakości części w przemyśle motoryzacyjnym, lotniczym i innych branżach.
Dziedzina lotnictwa i kosmonautyki: W przetwarzaniu i testowaniu części lotniczych wymagana jest wysoka precyzja. Na przykład obróbka łopatek silników lotniczych wymaga precyzyjnej kontroli trajektorii ruchu narzędzia, aby zapewnić dokładność profilu łopatki. Granitowa podstawa modułu ultraprecyzyjnego ruchu jednoosiowego pływaka powietrznego może być stosowana w pięcioosiowym centrum obróbczym i innym sprzęcie, aby zapewnić precyzyjną kontrolę ruchu narzędzia i upewnić się, że dokładność obróbki łopatki może spełnić wymagania projektowe. Jednocześnie w procesie montażu silnika lotniczego konieczne jest również użycie precyzyjnego sprzętu pomiarowego w celu wykrycia dokładności montażu części. Moduł ruchu pływaka powietrznego granitowej podstawy może zapewnić stabilne podparcie i dokładny ruch sprzętu pomiarowego, aby zapewnić jakość montażu.
Obszar kontroli optycznej: W procesie produkcji i testowania elementów optycznych konieczne jest wykonywanie precyzyjnego pozycjonowania i pomiaru elementów optycznych. Na przykład podczas produkcji elementów optycznych o wysokiej precyzji, takich jak lustra i soczewki, konieczne jest użycie interferometrów i innego sprzętu w celu wykrycia dokładności kształtu powierzchni. Granitowa podstawa jednoosiowego modułu ruchu ultraprecyzyjnego powietrznego może być używana jako platforma ruchu interferometru, co może realizować dokładność pozycjonowania submikronową i zapewniać dokładne wsparcie danych do wykrywania elementów optycznych. Ponadto w sprzęcie do obróbki laserowej konieczne jest również użycie platformy ruchu o wysokiej precyzji w celu kontrolowania trajektorii skanowania wiązki laserowej, granitowa podstawa modułu ruchu o unoszącym się powietrzu może spełniać ten wymóg, aby osiągnąć precyzyjną obróbkę laserową.
Czas publikacji: 07-kwi-2025