Produkcja półprzewodników: W procesie produkcji układów scalonych, fotolitografia musi precyzyjnie przenieść wzór obwodu na płytkę drukowaną. Granitowa podstawa jednoosiowego, ultraprecyzyjnego modułu ruchu powietrznego zapewnia wysoką precyzję pozycjonowania i stabilne podparcie stołu z płytką drukowaną w urządzeniach litograficznych. Na przykład, ASML i inni renomowani międzynarodowi producenci maszyn litograficznych stosują w swoich zaawansowanych urządzeniach moduły ruchu powietrznego z granitową podstawą, które umożliwiają kontrolę dokładności pozycjonowania płytki na poziomie nanometrów, gwarantując dokładność wzoru litograficznego, a tym samym poprawiając integrację i wydajność układu scalonego.
Obszar precyzyjnych pomiarów: Współrzędnościowa maszyna pomiarowa (CMM) to precyzyjne urządzenie pomiarowe powszechnie stosowane w produkcji przemysłowej, służące do pomiaru rozmiaru, kształtu i dokładności położenia przedmiotu obrabianego. Ultraprecyzyjny moduł ruchu jednoosiowego pływaka powietrznego na granitowej podstawie może służyć jako platforma ruchu CMM, umożliwiająca precyzyjny ruch liniowy i zapewniająca stabilną trajektorię ruchu sondy pomiarowej. Na przykład, wysokiej klasy współrzędnościowa maszyna pomiarowa firmy Hexagon wykorzystuje to połączenie do pomiaru dużych i złożonych części z dokładnością pomiaru do poziomu mikronów, co stanowi solidną gwarancję kontroli jakości części w przemyśle motoryzacyjnym, lotniczym i innych branżach.
Branża lotniczo-kosmiczna: W obróbce i testowaniu części lotniczych wymagana jest wysoka precyzja. Na przykład, obróbka łopatek silników lotniczych wymaga precyzyjnej kontroli trajektorii ruchu narzędzia, aby zapewnić dokładność profilu łopatki. Granitowa podstawa jednoosiowego modułu ultraprecyzyjnego ruchu z pływakiem powietrznym może być stosowana w pięcioosiowym centrum obróbczym i innych urządzeniach, zapewniając precyzyjną kontrolę ruchu narzędzia i gwarantując, że dokładność obróbki łopatki spełnia wymagania projektowe. Jednocześnie, w procesie montażu silnika lotniczego, konieczne jest użycie precyzyjnego sprzętu pomiarowego w celu sprawdzenia dokładności montażu części. Moduł ruchu z pływakiem powietrznym z granitową podstawą zapewnia stabilne podparcie i precyzyjny ruch sprzętu pomiarowego, gwarantując jakość montażu.
Obszar kontroli optycznej: W procesie produkcji i testowania komponentów optycznych konieczne jest precyzyjne pozycjonowanie i pomiar elementów optycznych. Na przykład, podczas produkcji precyzyjnych komponentów optycznych, takich jak zwierciadła i soczewki, konieczne jest użycie interferometrów i innego sprzętu do pomiaru dokładności kształtu powierzchni. Granitowa podstawa jednoosiowego, ultraprecyzyjnego modułu ruchu powietrznego może służyć jako platforma ruchu interferometru, co pozwala na osiągnięcie submikronowej dokładności pozycjonowania i dostarczanie dokładnych danych do wykrywania komponentów optycznych. Ponadto, w urządzeniach do obróbki laserowej konieczne jest również zastosowanie precyzyjnej platformy ruchu do kontrolowania trajektorii skanowania wiązki laserowej. Granitowa podstawa modułu ruchu powietrznego może spełnić to wymaganie, umożliwiając precyzyjną obróbkę laserową.
Czas publikacji: 07-04-2025