W branży półprzewodników inspekcja płytek półprzewodnikowych jest kluczowym ogniwem zapewniającym jakość i wydajność układu scalonego, a dokładność i stabilność stołu inspekcyjnego odgrywają decydującą rolę w wynikach detekcji. Podstawa granitowa o unikalnych właściwościach stanowi idealny wybór do stołu inspekcyjnego płytek półprzewodnikowych, oferując wielowymiarową analizę.
Po pierwsze, wymiar gwarancji precyzji
1. Ultrawysoka płaskość i prostoliniowość: Granitowa podstawa jest obrabiana zaawansowaną technologią, a płaskość może osiągnąć dokładność ±0,001 mm/m lub nawet wyższą, a prostoliniowość jest również doskonała. W procesie kontroli płytek półprzewodnikowych, precyzyjna płaszczyzna zapewnia stabilne podparcie płytki i gwarantuje dokładny kontakt między sondą urządzenia kontrolnego a spoinami lutowniczymi na powierzchni płytki.
2. Bardzo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej: produkcja półprzewodników jest wrażliwa na zmiany temperatury, a współczynnik rozszerzalności cieplnej granitu jest wyjątkowo niski, zazwyczaj około 5×10⁻⁶/℃. Podczas pracy platformy detekcyjnej, nawet przy wahaniach temperatury otoczenia, rozmiar granitowej podstawy zmienia się minimalnie. Na przykład, w warsztacie o wysokiej temperaturze latem, temperatura platformy detekcyjnej z metalową podstawą może powodować przesunięcie względnego położenia płytki i sprzętu detekcyjnego, wpływając na dokładność detekcji. Platforma detekcyjna z granitową podstawą może zachować stabilność, zapewnić dokładność względnego położenia płytki i sprzętu detekcyjnego podczas procesu detekcji oraz zapewnić stabilne środowisko dla precyzyjnej detekcji.
Po drugie, wymiar stabilności
1. Stabilna struktura i odporność na wibracje: Granit, który przetrwał miliony lat procesów geologicznych, charakteryzuje się gęstą i jednorodną strukturą wewnętrzną. W złożonym środowisku fabryki półprzewodników, wibracje generowane przez urządzenia peryferyjne i chodzący personel są skutecznie tłumione przez granitową podstawę.
2. Dokładność długotrwałego użytkowania: w porównaniu z innymi materiałami, granit charakteryzuje się wysoką twardością i odpornością na zużycie, a twardość w skali Mohsa może sięgać 6-7. Granitowa powierzchnia podstawy nie ulega łatwo zużyciu podczas częstego załadunku i rozładunku płytek oraz inspekcji. Zgodnie z rzeczywistym wykorzystaniem danych statystycznych, zastosowanie stołu testowego z granitową podstawą, ciągła praca po 5000 godzinach, pozwala na utrzymanie dokładności płaskości i prostoliniowości na poziomie ponad 98% dokładności początkowej, co zmniejsza zużycie sprzętu spowodowane regularną kalibracją i konserwacją, a także obniża koszty operacyjne firmy i zapewnia długoterminową stabilność prac testowych.
Trzeci, czysty i antyzakłóceniowy wymiar
1. Niskie zapylenie: środowisko produkcji półprzewodników musi być bardzo czyste, a sam materiał granitowy jest stabilny i odporny na emisję pyłu. Podczas pracy platformy testowej, pył generowany przez podstawę zapobiega zanieczyszczeniu wafla, a ryzyko zwarć i przerw spowodowanych cząsteczkami pyłu jest zredukowane. W strefie inspekcji wafli w warsztacie bezpyłowym, stężenie pyłu wokół granitowego stołu inspekcyjnego jest zawsze utrzymywane na bardzo niskim poziomie, co spełnia rygorystyczne wymagania dotyczące czystości w przemyśle półprzewodnikowym.
2. Brak zakłóceń magnetycznych: urządzenie detekcyjne jest wrażliwe na środowisko elektromagnetyczne, a granit jest materiałem niemagnetycznym, który nie zakłóca sygnału elektronicznego urządzenia detekcyjnego. W przypadku stosowania detekcji wiązką elektronów i innych technologii testowych wymagających ekstremalnie wysokiego poziomu pola elektromagnetycznego, granitowa podstawa zapewnia stabilną transmisję sygnału elektronicznego urządzenia detekcyjnego i gwarantuje dokładność wyników testu. Na przykład, gdy płytka jest testowana pod kątem wysokiej precyzji parametrów elektrycznych, niemagnetyczna granitowa podstawa zapobiega interferencji z sygnałami prądu i napięcia detekcji, dzięki czemu dane detekcji wiernie odzwierciedlają charakterystykę elektryczną płytki.
Czas publikacji: 31 marca 2025 r.