Łóżko granitowe jest ważnym elementem w różnych urządzeniach półprzewodnikowych. Jako wysoce stabilny i sztywny materiał granit jest szeroko wykorzystywany jako baza dla sprzętu do przetwarzania półprzewodników. Charakteryzuje się niskim współczynnikiem rozszerzalności cieplnej, wysokiej stabilności wymiarów i doskonałymi właściwościami mechanicznymi. Ze względu na te właściwości złoża granitowe jest najczęściej stosowane w trzech różnych rodzajach urządzeń półprzewodnikowych - sprzęcie metrologicznym, sprzęcie litograficznym i sprzęcie inspekcyjnym.
Sprzęt metrologiczny służy do pomiaru i wykrywania krytycznych wymiarów urządzeń półprzewodnikowych. Odgrywa kluczową rolę w utrzymaniu jakości i spójności procesu produkcji półprzewodników. Sprzęt metrologiczny obejmuje instrumenty takie jak mikroskopy optyczne, mikroskopy elektronowe i mikroskopy siły atomowe (AFM). Ponieważ wydajność tych instrumentów pomiarowych zależy od ich stabilności, precyzji i odporności na wibracje, granit jest idealnym wyborem dla ich materiału łóżka. Jednomierność i stabilność złoża granitowego stanowią stabilną platformę dla instrumentów, co zwiększa ich dokładność i niezawodność.
Sprzęt litograficzny służy do tworzenia wzorów mikroczipów na waflu. Proces litografii wymaga wysokiego poziomu precyzji i dokładności w celu tworzenia złożonych obwodów i poprawy wydajności ChIP. Sprzęt litograficzny obejmuje systemy stepper i skanera, które wykorzystują światło do przenoszenia obrazów na wafel. Ponieważ proces litografii jest bardzo wrażliwy na wibracje i zmiany termiczne, wysokiej jakości łóżko jest niezbędne, aby zapewnić stabilność i powtarzalność procesu litografii. Łóżka granitowe zapewniają wymaganą stabilność i rygorystyczne wydajność tłumienia wibracji dla systemów litografii. Łóżko granitowe pozwala systemowi skanowania lub skanera na utrzymanie precyzyjnych relacji przestrzennych zapewniających wysoką dokładność i jakość produktu końcowego.
Sprzęt kontroli służy do wykrywania wszelkich wad w urządzeniach półprzewodnikowych. Sprzęt kontroli obejmuje systemy takie jak mikroskopy skaningowe laserowe, mikroskopy elektronowe i mikroskopy optyczne. Przy potrzebie bardzo dokładnych, stabilnych i opornych na wibracje łóżek granitowych są idealnym materiałem. Właściwości mechaniczne granitu i stabilność wymiarowa pomagają w izolacji wibracji, co zwiększa dokładność wyjścia sprzętu inspekcyjnego.
Podsumowując, złoża granitowe ma kluczowe znaczenie dla przemysłu półprzewodnikowego i jest szeroko stosowane w różnych rodzajach sprzętu. Jego unikalne właściwości, takie jak stabilność wymiarowa, niski współczynnik rozszerzania cieplnego i doskonała stabilność mechaniczna sprawiają, że granit jest idealnym wyborem dla materiału złożonego z wyposażenia półprzewodnikowego. Ponieważ wysokiej jakości złoża granitowe zapewnia niezbędną stabilność, precyzję i odporność na wibracje na sprzęt półprzewodnikowy, ostatecznie poprawia jakość produktu końcowego. Dlatego użycie złoża granitowego w sprzęcie półprzewodników z pewnością będzie kontynuowane przez wiele lat.
Czas po: 03-2024