Materiały granitowe są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników ze względu na ich doskonałe właściwości, takie jak wysoka stabilność, niska rozszerzalność cieplna i wysoka odporność na korozję.Te właściwości sprawiają, że granit jest idealnym materiałem do budowy precyzyjnych elementów systemu transportu płytek.
W procesie produkcji półprzewodników system przenoszenia płytek odgrywa kluczową rolę w transporcie płytek na różnych etapach procesu produkcyjnego.Precyzja i dokładność to podstawowe wymagania dla tych systemów, ponieważ nawet niewielkie odchylenia mogą zagrozić całemu procesowi.Dlatego elementy systemu przenoszenia płytek muszą być wykonane z materiałów wysokiej jakości, a granit te kryteria spełnia.
Niektóre części systemu przenoszenia płytek wykonane z materiałów granitowych obejmują:
1. Stół z uchwytem próżniowym
Stół z uchwytem próżniowym służy do przytrzymywania płytki podczas procesu i musi mieć stabilną powierzchnię, aby zapewnić, że płytka nie ulegnie uszkodzeniu.Granit jest idealnym materiałem do wykonania tego stołu, ponieważ ma płaską, nieporowatą powierzchnię, która zapewnia wysoką stabilność i precyzję.Dodatkowo granit ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, dzięki czemu jest odporny na zmiany temperatury, które mogą powodować zmiany wymiarowe płytki.
2. Stopień powietrzno-nośny
Etap przenoszący powietrze służy do transportu płytki przez różne etapy procesu produkcyjnego.Scena została zaprojektowana tak, aby zapewnić ruch bez tarcia, co wymaga dużej precyzji i stabilności.W tym zastosowaniu wykorzystuje się granit, ponieważ jest kamieniem sztywnym i twardym, odpornym na odkształcenia i zużycie w miarę upływu czasu.
3. Prowadnice ruchu liniowego
Prowadnice ruchu liniowego służą do prowadzenia stopnia z łożyskiem powietrznym i muszą być dokładnie ustawione, aby zminimalizować błędy.Do budowy tej prowadnicy użyto granitu, ponieważ ma on doskonałą stabilność mechaniczną i wytrzymałość.Materiał jest również odporny na korozję, co zapewnia trwałość systemu prowadzącego.
4. Sprzęt metrologiczny
Sprzęt metrologiczny służy do pomiaru wymiarów i właściwości płytki podczas procesu produkcyjnego.Granit jest idealnym materiałem do budowy tego sprzętu, ponieważ ma wysoką sztywność, niską rozszerzalność i minimalne odkształcenia pod obciążeniem.Co więcej, stabilność termiczna granitu zapewnia, że sprzęt metrologiczny pozostaje stabilny i dokładny w czasie.
Podsumowując, przemysł półprzewodników opiera się na precyzji i dokładności, a materiały granitowe okazały się wysoce niezawodne i stabilne w procesie produkcyjnym.Ponieważ wiele kluczowych elementów systemu przenoszenia płytek wymaga wysokiej stabilności, precyzji i niskiej rozszerzalności cieplnej, inżynierowie zwrócili się ku materiałom granitowym, aby spełnić te krytyczne wymagania.
Czas publikacji: 19 marca 2024 r