Materiały granitowe są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym ze względu na swoje doskonałe właściwości, takie jak wysoka stabilność, niska rozszerzalność cieplna i wysoka odporność na korozję. Te właściwości sprawiają, że granit jest idealnym materiałem do budowy precyzyjnych komponentów w systemach transferu płytek półprzewodnikowych.
W procesie produkcji półprzewodników, system transportu płytek półprzewodnikowych odgrywa kluczową rolę w transporcie płytek przez różne etapy procesu produkcyjnego. Precyzja i dokładność to podstawowe wymagania dla tych systemów, ponieważ nawet niewielkie odchylenia mogą zagrozić całemu procesowi. Dlatego komponenty systemu transportu płytek półprzewodnikowych muszą być wykonane z materiałów wysokiej jakości, a granit spełnia te kryteria.
Niektóre części systemu transportu płytek wykonane z materiałów granitowych obejmują:
1. Stół z uchwytem próżniowym
Stół z uchwytem próżniowym służy do podtrzymywania wafla podczas procesu i musi mieć stabilną powierzchnię, aby zapobiec jego uszkodzeniu. Granit jest idealnym materiałem do wykonania tego stołu, ponieważ ma płaską, nieporowatą powierzchnię, która zapewnia wysoką stabilność i precyzję. Ponadto granit charakteryzuje się niskim współczynnikiem rozszerzalności cieplnej, dzięki czemu jest odporny na zmiany temperatury, które mogłyby powodować zmiany wymiarów wafla.
2. Stopień łożyska powietrznego
Platforma powietrzna służy do transportu wafla przez różne etapy procesu produkcyjnego. Platforma została zaprojektowana tak, aby zapewnić ruch bez tarcia, co wymaga wysokiej precyzji i stabilności. W tym zastosowaniu wykorzystuje się granit, ponieważ jest to sztywny i twardy kamień, odporny na odkształcenia i zużycie z upływem czasu.
3. Prowadnice liniowe
Prowadnice liniowe służą do prowadzenia platformy z łożyskiem powietrznym i muszą być precyzyjnie ustawione, aby zminimalizować błędy. Do budowy tej prowadnicy wykorzystano granit, ponieważ charakteryzuje się on doskonałą stabilnością mechaniczną i wytrzymałością. Materiał ten jest również odporny na korozję, co zapewnia długą żywotność systemu prowadnic.
4. Sprzęt metrologiczny
Sprzęt metrologiczny służy do pomiaru wymiarów i właściwości wafla w procesie produkcyjnym. Granit jest idealnym materiałem do budowy tego sprzętu, ponieważ charakteryzuje się wysoką sztywnością, niską rozszerzalnością cieplną i minimalnym odkształceniem pod obciążeniem. Ponadto, stabilność termiczna granitu gwarantuje stabilność i dokładność sprzętu metrologicznego w czasie.
Podsumowując, przemysł półprzewodnikowy opiera się na precyzji i dokładności, a materiały granitowe okazały się niezwykle niezawodne i stabilne w procesie produkcyjnym. Ponieważ wiele kluczowych komponentów w systemie transferu płytek półprzewodnikowych wymaga wysokiej stabilności, precyzji i niskiej rozszerzalności cieplnej, inżynierowie sięgnęli po materiały granitowe, aby spełnić te krytyczne wymagania.
Czas publikacji: 19 marca 2024 r.