Materiały granitowe są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników ze względu na ich doskonałe cechy, takie jak wysoka stabilność, niska ekspansja cieplna i wysoka odporność na korozję. Właściwości te sprawiają, że granit jest idealnym materiałem do budowania bardzo precyzyjnych komponentów w systemie transferu płytki.
W procesie produkcji półprzewodników system transferu płytki odgrywa kluczową rolę w transporcie płytek na różnych etapach procesu produkcyjnego. Precyzja i dokładność są istotnymi wymaganiami dla tych systemów, ponieważ nawet niewielkie odchylenia mogą zagrozić całego procesu. Dlatego komponenty w systemie transferu wafli muszą być wykonane z wysokiej jakości materiałów, a granit spełnia te kryteria.
Niektóre części systemu transferu płytki, które są wykonane z materiałów granitowych, obejmują:
1. Stół próżniowy
Stół próżniowy jest używany do trzymania wafla w trakcie procesu i musi mieć stabilną powierzchnię, aby upewnić się, że wafel nie zostanie uszkodzony. Granit jest idealnym materiałem do tworzenia tego stołu, ponieważ ma płaską, nieporowatą powierzchnię, która zapewnia wysoką stabilność i precyzję. Ponadto granit ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, co czyni go odpornym na zmiany temperatury, które mogą powodować zmiany wymiarowe w waflu.
2. Etap zawierający powietrze
Etap zawierający powietrze służy do transportu opłatek przez różne etapy procesu produkcyjnego. Scena jest zaprojektowana w celu zapewnienia ruchu bez tarcia, który wymaga wysokiej precyzji i stabilności. Granit jest używany w tej aplikacji, ponieważ jest sztywnym i twardym kamieniem, a z czasem odpiera deformację i zużycie.
3. Liniowe przewodniki ruchowe
Liniowe przewodniki ruchowe służą do kierowania etapem zawierającym powietrze i muszą być dokładnie ustawione w celu zminimalizowania błędów. Granit służy do budowy tego przewodnika, ponieważ ma doskonałą stabilność mechaniczną i siłę. Materiał jest również odporny na korozję, co zapewnia długowieczność systemu przewodnika.
4. Sprzęt metrologiczny
Sprzęt metrologiczny służy do pomiaru wymiarów i właściwości płytki podczas procesu produkcyjnego. Granit jest idealnym materiałem do budowania tego sprzętu, ponieważ ma wysoką sztywność, niską ekspansję i minimalne odkształcenie pod obciążeniem. Ponadto stabilność termiczna Granite zapewnia, że sprzęt metrologiczny pozostaje stabilny i dokładny z czasem.
Podsumowując, przemysł półprzewodnikowy opiera się na precyzji i dokładności, a materiały granitowe okazały się bardzo niezawodne i stabilne w procesie produkcyjnym. Przy wielu krytycznych komponentach w systemie transferu płytki wymagające wysokiej stabilności, precyzji i niskiej ekspansji cieplnej inżynierowie zwrócili się do materiałów granitowych, aby spełnić te krytyczne wymagania.
Czas po: 19-2024