Materiały granitowe są szeroko stosowane w przemyśle półprzewodnikowym ze względu na ich doskonałe właściwości, takie jak wysoka stabilność, niska rozszerzalność cieplna i wysoka odporność na korozję. Właściwości te sprawiają, że granit jest idealnym materiałem do budowy precyzyjnych komponentów w systemie transferu płytek.
W procesie produkcji półprzewodników system transferu płytek odgrywa kluczową rolę w transporcie płytek przez różne etapy procesu produkcyjnego. Precyzja i dokładność to podstawowe wymagania dla tych systemów, ponieważ nawet niewielkie odchylenia mogą zagrozić całemu procesowi. Dlatego komponenty w systemie transferu płytek muszą być wykonane z materiałów wysokiej jakości, a granit spełnia te kryteria.
Niektóre części systemu transportu płytek wykonane z materiałów granitowych obejmują:
1. Stół z uchwytem próżniowym
Stół próżniowy jest używany do trzymania wafla podczas procesu i musi mieć stabilną powierzchnię, aby zapewnić, że wafel nie zostanie uszkodzony. Granit jest idealnym materiałem do wykonania tego stołu, ponieważ ma płaską, nieporowatą powierzchnię, która zapewnia wysoką stabilność i precyzję. Ponadto granit ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, dzięki czemu jest odporny na zmiany temperatury, które mogłyby powodować zmiany wymiarów wafla.
2. Stopień łożyska powietrznego
Etap z łożyskiem powietrznym służy do transportu wafla przez różne etapy procesu produkcyjnego. Etap jest zaprojektowany tak, aby zapewnić ruch bez tarcia, co wymaga wysokiej precyzji i stabilności. Granit jest używany w tym zastosowaniu, ponieważ jest sztywnym i twardym kamieniem, odpornym na odkształcenia i zużycie z upływem czasu.
3. Prowadnice liniowe
Prowadnice liniowe służą do prowadzenia etapu łożyska powietrznego i muszą być dokładnie ustawione, aby zminimalizować błędy. Granit jest używany do budowy tej prowadnicy, ponieważ ma doskonałą stabilność mechaniczną i wytrzymałość. Materiał jest również odporny na korozję, co zapewnia długowieczność systemu prowadnic.
4. Sprzęt metrologiczny
Sprzęt metrologiczny jest używany do pomiaru wymiarów i właściwości wafla podczas procesu produkcyjnego. Granit jest idealnym materiałem do budowy tego sprzętu, ponieważ ma wysoką sztywność, niską rozszerzalność i minimalne odkształcenia pod obciążeniem. Ponadto stabilność termiczna granitu zapewnia, że sprzęt metrologiczny pozostaje stabilny i dokładny w czasie.
Podsumowując, przemysł półprzewodników opiera się na precyzji i dokładności, a materiały granitowe okazały się wysoce niezawodne i stabilne w procesie produkcyjnym. Ponieważ wiele krytycznych komponentów w systemie transferu płytek wymaga wysokiej stabilności, precyzji i niskiej rozszerzalności cieplnej, inżynierowie zwrócili się ku materiałom granitowym, aby spełnić te krytyczne wymagania.
Czas publikacji: 19-03-2024