W takich dziedzinach jak produkcja półprzewodników i precyzyjne przyrządy pomiarowe, dokładność granitowych platform precyzyjnych bezpośrednio decyduje o jakości operacyjnej sprzętu. Aby zapewnić zgodność dokładności platformy z normami, należy skupić się na dwóch aspektach: wykrywaniu kluczowych wskaźników oraz zgodności z normami.
Wykrywanie wskaźników rdzeniowych: wielowymiarowa kontrola dokładności
Wykrywanie płaskości: Określanie „płaskości” płaszczyzny odniesienia
Płaskość jest kluczowym wskaźnikiem precyzyjnych platform granitowych i jest zazwyczaj mierzona za pomocą interferometrów laserowych lub niwelatorów elektronicznych. Interferometr laserowy może precyzyjnie mierzyć drobne nierówności na powierzchni platformy, emitując wiązkę laserową i wykorzystując zasadę interferencji światła, z dokładnością sięgającą poziomu submikronowego. Niwelator elektroniczny dokonuje pomiaru, przesuwając się wielokrotnie i rysując trójwymiarową mapę konturową powierzchni platformy, aby wykryć ewentualne lokalne wypukłości lub zagłębienia. Na przykład, platformy granitowe używane w fotolitografach półprzewodnikowych muszą charakteryzować się płaskością ±0,5 μm/m, co oznacza, że różnica wysokości na odcinku 1 metra nie powinna przekraczać pół mikrometra. Tylko dzięki precyzyjnemu sprzętowi detekcyjnemu można zapewnić ten rygorystyczny standard.
2. Wykrywanie prostoliniowości: zapewnia „prostoliniowość” ruchu liniowego
W przypadku platform, na których znajdują się precyzyjne ruchome części, prostoliniowość ma kluczowe znaczenie. Powszechnymi metodami detekcji są metoda drutowa lub kolimator laserowy. Metoda drutowa polega na zawieszeniu precyzyjnych stalowych linek i porównaniu szczeliny między powierzchnią platformy a linkami stalowymi w celu określenia prostoliniowości. Kolimator laserowy wykorzystuje liniowe właściwości propagacji lasera do wykrywania liniowego błędu powierzchni montażowej szyny prowadzącej platformy. Jeśli prostoliniowość nie spełnia norm, spowoduje to przesunięcie urządzenia podczas ruchu, co wpłynie na dokładność przetwarzania lub pomiaru.
3. Wykrywanie chropowatości powierzchni: Upewnij się, że kontakt jest „delikatny”
Chropowatość powierzchni platformy wpływa na dopasowanie elementów podczas montażu. Zazwyczaj do detekcji używa się szpikulca pomiarowego lub mikroskopu optycznego. Instrument szpikulcowy rejestruje zmiany wysokości profilu mikroskopowego poprzez kontakt z powierzchnią platformy za pomocą cienkiej sondy. Mikroskopy optyczne umożliwiają bezpośrednią obserwację tekstury powierzchni. W zastosowaniach wymagających wysokiej precyzji, chropowatość powierzchni platform granitowych musi być kontrolowana na poziomie Ra ≤0,05 μm, co odpowiada efektowi lustrzanemu, zapewniając ścisłe dopasowanie precyzyjnych elementów podczas montażu i zapobiegając wibracjom lub przemieszczeniom spowodowanym przez szczeliny.
Standardy precyzji są następujące: normy międzynarodowe i kontrola wewnętrzna przedsiębiorstwa
Obecnie, na arenie międzynarodowej, normy ISO 25178 i GB/T 24632 są powszechnie stosowane jako podstawa do określania dokładności platform granitowych, a także istnieją jasne klasyfikacje wskaźników, takich jak płaskość i prostoliniowość. Ponadto, przedsiębiorstwa produkcyjne wysokiej klasy często stosują bardziej rygorystyczne standardy kontroli wewnętrznej. Na przykład, wymagania dotyczące płaskości platformy granitowej maszyny do fotolitografii są o 30% wyższe niż wymagania normy międzynarodowej. Podczas przeprowadzania testów, zmierzone dane należy porównywać z odpowiednimi normami. Tylko platformy w pełni zgodne z normami mogą zapewnić stabilną pracę w urządzeniach precyzyjnych.
Kontrola dokładności precyzyjnych platform granitowych to projekt systematyczny. Tylko poprzez rygorystyczne testowanie kluczowych wskaźników, takich jak płaskość, prostoliniowość i chropowatość powierzchni, oraz przestrzeganie standardów międzynarodowych i korporacyjnych, można zagwarantować wysoką precyzję i niezawodność platformy, tworząc solidny fundament dla zaawansowanych sektorów produkcyjnych, takich jak półprzewodniki i instrumenty precyzyjne.
Czas publikacji: 21 maja 2025 r.