W takich dziedzinach jak produkcja półprzewodników i precyzyjne przyrządy pomiarowe dokładność granitowych platform precyzyjnych bezpośrednio determinuje jakość operacyjną sprzętu. Aby zapewnić, że dokładność platformy spełnia standardy, należy podjąć wysiłki z dwóch aspektów: wykrywania kluczowych wskaźników i zgodności ze standardowymi normami.
Wykrywanie wskaźników rdzeniowych: wielowymiarowa kontrola dokładności
Wykrywanie płaskości: Określanie „płaskości” płaszczyzny odniesienia
Płaskość jest głównym wskaźnikiem precyzyjnych platform granitowych i jest zwykle mierzona za pomocą interferometrów laserowych lub niwelatorów elektronicznych. Interferometr laserowy może precyzyjnie mierzyć drobne falistości na powierzchni platformy, emitując wiązkę laserową i wykorzystując zasadę interferencji światła, z dokładnością sięgającą poziomu submikronowego. Niwelator elektroniczny mierzy, przesuwając się wielokrotnie i rysuje trójwymiarową mapę konturową powierzchni platformy, aby wykryć, czy występują jakieś lokalne wypukłości lub zagłębienia. Na przykład platformy granitowe używane w maszynach do fotolitografii półprzewodnikowej muszą mieć płaskość ±0,5 μm/m, co oznacza, że różnica wysokości na długości 1 metra nie powinna przekraczać pół mikrometra. Tylko za pomocą wysoce precyzyjnego sprzętu wykrywającego można zapewnić ten rygorystyczny standard.
2. Wykrywanie prostoliniowości: zapewnia „prostoliniowość” ruchu liniowego
W przypadku platform, które przenoszą precyzyjne ruchome części, prostoliniowość ma kluczowe znaczenie. Powszechnymi metodami wykrywania są metoda przewodowa lub kolimator laserowy. Metoda przewodowa polega na zawieszaniu precyzyjnych drutów stalowych i porównywaniu szczeliny między powierzchnią platformy a drutami stalowymi w celu określenia prostoliniowości. Kolimator laserowy wykorzystuje liniowe charakterystyki propagacji lasera w celu wykrycia liniowego błędu powierzchni instalacyjnej szyny prowadzącej platformy. Jeśli prostoliniowość nie spełnia normy, spowoduje to przesunięcie sprzętu podczas ruchu, co wpłynie na dokładność przetwarzania lub pomiaru.
3. Wykrywanie chropowatości powierzchni: Upewnij się, że kontakt jest „delikatny”
Chropowatość powierzchni platformy wpływa na dopasowanie instalacji komponentów. Zazwyczaj do wykrywania używa się miernika chropowatości igły lub mikroskopu optycznego. Instrument typu igły rejestruje zmiany wysokości profilu mikroskopowego poprzez kontakt powierzchni platformy z cienką sondą. Mikroskopy optyczne mogą bezpośrednio obserwować teksturę powierzchni. W zastosowaniach wymagających wysokiej precyzji chropowatość powierzchni platform granitowych musi być kontrolowana na poziomie Ra≤0,05μm, co odpowiada efektowi lustrzanemu, zapewniając ścisłe dopasowanie precyzyjnych komponentów podczas instalacji i unikając wibracji lub przemieszczeń spowodowanych przez szczeliny.
Standardy precyzji są następujące: normy międzynarodowe i kontrola wewnętrzna przedsiębiorstwa
Obecnie na arenie międzynarodowej normy ISO 25178 i GB/T 24632 są powszechnie stosowane jako podstawa do określania dokładności platform granitowych, a istnieją jasne klasyfikacje wskaźników, takich jak płaskość i prostoliniowość. Ponadto przedsiębiorstwa produkcyjne wysokiej klasy często ustalają bardziej rygorystyczne normy kontroli wewnętrznej. Na przykład wymagania dotyczące płaskości platformy granitowej maszyny do fotolitografii są o 30% wyższe niż norma międzynarodowa. Podczas przeprowadzania testów zmierzone dane należy porównać z odpowiednimi normami. Tylko platformy w pełni zgodne z normami mogą zapewnić stabilną pracę w precyzyjnym sprzęcie.
Kontrola dokładności precyzyjnych platform granitowych to projekt systematyczny. Tylko poprzez ścisłe testowanie wskaźników rdzeniowych, takich jak płaskość, prostoliniowość i chropowatość powierzchni, oraz przestrzeganie norm międzynarodowych i korporacyjnych, można zagwarantować wysoką precyzję i niezawodność platformy, kładąc solidny fundament dla zaawansowanych dziedzin produkcji, takich jak półprzewodniki i instrumenty precyzyjne.
Czas publikacji: 21-05-2025