Podstawy maszyn granitowych są szeroko stosowane w urządzeniach do obróbki płytek półprzewodnikowych ze względu na ich doskonałe właściwości, takie jak wysoka sztywność, stabilność i precyzja. Montaż, testowanie i kalibracja podstawy maszyny granitowej to kluczowy proces, który wymaga najwyższej dbałości o szczegóły, precyzji i dokładności. W tym artykule omówimy krok po kroku proces montażu, testowania i kalibracji podstawy maszyny granitowej w urządzeniach do obróbki płytek półprzewodnikowych.
Złożenie
Pierwszym krokiem jest przygotowanie granitowej płyty wierzchniej, podstawy i kolumny do montażu. Upewnij się, że wszystkie powierzchnie są czyste, suche i wolne od zanieczyszczeń, pyłu i oleju. Włóż kołki poziomujące w podstawę i umieść na niej płytę wierzchnią. Wyreguluj kołki poziomujące tak, aby płyta wierzchnia była wypoziomowana i wypoziomowana. Upewnij się, że płyta wierzchnia jest równo z podstawą i kolumną.
Następnie zamontuj kolumnę na podstawie i przykręć ją śrubami. Użyj klucza dynamometrycznego, aby dokręcić śruby z momentem obrotowym zalecanym przez producenta. Sprawdź poziom kolumny i w razie potrzeby wyreguluj kołki poziomujące.
Na koniec zamontuj zespół wrzeciona na szczycie kolumny. Użyj klucza dynamometrycznego, aby dokręcić śruby z momentem obrotowym zalecanym przez producenta. Sprawdź poziom zespołu wrzeciona i w razie potrzeby wyreguluj kołki poziomujące.
Testowanie
Po zmontowaniu podstawy maszyny, kolejnym krokiem jest sprawdzenie jej funkcjonalności i dokładności. Podłącz zasilanie i włącz maszynę. Upewnij się, że wszystkie podzespoły, takie jak silniki, przekładnie, paski i łożyska, działają prawidłowo i nie wydają żadnych nieprawidłowości ani nietypowych dźwięków.
Aby sprawdzić dokładność maszyny, należy użyć precyzyjnego czujnika zegarowego do pomiaru bicia wrzeciona. Ustawić czujnik zegarowy na płycie pomiarowej i obrócić wrzeciono. Maksymalne dopuszczalne bicie powinno być mniejsze niż 0,002 mm. Jeśli bicie jest większe niż dopuszczalna granica, należy wyregulować kołki poziomujące i ponownie sprawdzić.
Kalibrowanie
Kalibracja to kluczowy etap zapewniający dokładność i precyzję podstawy maszyny. Proces kalibracji obejmuje testowanie i regulację parametrów maszyny, takich jak prędkość, pozycjonowanie i dokładność, w celu zapewnienia zgodności maszyny ze specyfikacjami producenta.
Do kalibracji maszyny potrzebne jest narzędzie kalibracyjne, takie jak interferometr laserowy, tracker laserowy lub ballbar. Narzędzia te mierzą ruch, położenie i wyrównanie maszyny z dużą dokładnością.
Zacznij od pomiaru osi liniowej i kątowej maszyny. Użyj narzędzia kalibracyjnego, aby zmierzyć ruch i położenie maszyny na określonym dystansie lub pod określonym kątem. Porównaj zmierzone wartości ze specyfikacją producenta. W przypadku jakichkolwiek odchyleń, dostosuj parametry maszyny, takie jak silniki, przekładnie i napędy, aby zmierzone wartości mieściły się w dopuszczalnych granicach.
Następnie przetestuj funkcję interpolacji kołowej maszyny. Użyj narzędzia kalibracyjnego, aby utworzyć ścieżkę kołową i zmierzyć ruch oraz położenie maszyny. Ponownie porównaj zmierzone wartości ze specyfikacją producenta i w razie potrzeby dostosuj parametry.
Na koniec przetestuj powtarzalność maszyny. Zmierz położenie maszyny w różnych punktach w określonym czasie. Porównaj zmierzone wartości i sprawdź, czy nie występują odchylenia. W przypadku wystąpienia odchyleń, dostosuj parametry maszyny i powtórz test.
Wniosek
Montaż, testowanie i kalibracja granitowej podstawy maszyny do obróbki płytek półprzewodnikowych to kluczowy proces, który wymaga cierpliwości, dbałości o szczegóły i precyzji. Postępując zgodnie z tymi krokami, możesz mieć pewność, że maszyna spełnia specyfikacje producenta i działa z dokładnością, stabilnością i precyzją.
Czas publikacji: 28 grudnia 2023 r.