Zastosowanie podstawy granitowej: Granit ma niezwykle stabilne właściwości fizyczne, gęstą i jednolitą strukturę wewnętrzną, niski współczynnik rozszerzalności cieplnej, wysoką twardość. Dzięki temu podstawa może skutecznie izolować drgania zewnętrzne, zmniejszać wpływ zmian temperatury otoczenia na dokładność platformy i ma dobrą odporność na zużycie, długotrwałe użytkowanie może również utrzymać stabilną wydajność podparcia, zapewniając solidny fundament dla dokładności platformy.
Konstrukcja o wysokiej precyzji: Konstrukcja mechaniczna platformy została starannie zaprojektowana i zoptymalizowana, przy użyciu precyzyjnych szyn prowadzących, śrub pociągowych, łożysk i innych elementów transmisyjnych. Dzięki niskiemu tarciu, wysokiej sztywności i dobrej powtarzalności ruchu, te elementy mogą dokładnie przekazywać moc i kontrolować ruch platformy, zmniejszając akumulację błędów podczas ruchu. Na przykład, zastosowanie aerostatycznej szyny prowadzącej, użycie filmu powietrznego do wspierania ruchu platformy, bez tarcia, bez zużycia, o wysokiej precyzji, może osiągnąć dokładność pozycjonowania w skali nano.
Zaawansowana technologia aktywnej izolacji wibracji: wyposażona w aktywny system izolacji wibracji, monitorowanie w czasie rzeczywistym stanu wibracji platformy za pomocą czujnika, a następnie zgodnie z wynikami monitorowania, sterowanie sprzężeniem zwrotnym siłownika, generowanie przeciwnej siły lub ruchu zewnętrznych wibracji w celu zrównoważenia wpływu wibracji. Ta aktywna technologia izolacji wibracji może skutecznie izolować wibracje o niskiej i wysokiej częstotliwości, dzięki czemu platforma może pozostać stabilna w złożonym środowisku wibracji. Na przykład elektromagnetyczny aktywny izolator wibracji ma zalety szybkiej prędkości reakcji i dokładnej siły sterowania, co może zmniejszyć amplitudę wibracji platformy o ponad 80%.
Precyzyjny system sterowania: Platforma przyjmuje zaawansowany system sterowania, taki jak system sterowania oparty na cyfrowym procesorze sygnałowym (DSP) lub programowalnej macierzy bramek (FPGA), który ma zdolność do szybkich obliczeń i precyzyjnej kontroli. System sterowania monitoruje i dostosowuje ruch platformy w czasie rzeczywistym za pomocą dokładnych algorytmów i realizuje precyzyjną kontrolę położenia, kontrolę prędkości i kontrolę przyspieszenia. Jednocześnie system sterowania ma również dobrą zdolność przeciwzakłóceniową i może pracować stabilnie w złożonym środowisku elektromagnetycznym.
Pomiar czujnika o wysokiej precyzji: Zastosowanie czujników przemieszczenia o wysokiej precyzji, czujników kąta i innego sprzętu pomiarowego, dokładny pomiar ruchu platformy w czasie rzeczywistym. Czujniki te przesyłają dane pomiarowe z powrotem do systemu sterowania, a system sterowania dokonuje dokładnej regulacji i kompensacji zgodnie z danymi zwrotnymi, aby zapewnić dokładność ruchu platformy. Na przykład interferometr laserowy jest używany jako czujnik przemieszczenia, a jego dokładność pomiaru może wynosić do nanometrów, co może zapewnić dokładne informacje o położeniu w celu precyzyjnego sterowania platformą.
Technologia kompensacji błędów: Poprzez modelowanie i analizowanie błędów platformy, technologia kompensacji błędów jest używana do korygowania błędów. Na przykład błąd prostoliniowości szyny prowadzącej i błąd skoku śruby pociągowej są mierzone i kompensowane w celu poprawy dokładności ruchu platformy. Ponadto algorytmy oprogramowania mogą być również używane do kompensowania błędów spowodowanych zmianami temperatury, zmianami obciążenia i innymi czynnikami w czasie rzeczywistym w celu dalszej poprawy dokładności platformy.
Ścisły proces produkcyjny i kontrola jakości: W procesie produkcyjnym platformy, ścisłe standardy procesu produkcyjnego i kontroli jakości są przyjmowane w celu zapewnienia dokładności przetwarzania i jakości montażu każdego komponentu. Od wyboru surowców po przetwarzanie, montaż i uruchomienie części, każde ogniwo jest ściśle sprawdzane i testowane w celu zapewnienia ogólnej dokładności i wydajności platformy. Na przykład, wykonywana jest wysoce precyzyjna obróbka mechaniczna kluczowych części, a zaawansowany sprzęt, taki jak centra obróbcze CNC, jest używany w celu zapewnienia, że dokładność wymiarowa oraz tolerancje kształtu i położenia części spełniają wymagania projektowe.
Czas publikacji: 11-kwi-2025