W dziedzinie produkcji półprzewodników precyzja rzędu submikron jest kluczem do zapewnienia wydajności układów scalonych, a granitowa podstawa (ZHHIMG®) ze swoimi właściwościami materiałowymi, precyzyjnym przetwarzaniem i innowacyjną konstrukcją stała się podstawową gwarancją osiągnięcia tej precyzji.
Z perspektywy właściwości materiału, czarny granit wybrany przez ZHHIMG® ma gęstość około 3100 kg/m³, z gęstą strukturą wewnętrzną. Ta wysoka gęstość zapewnia mu wyjątkową stabilność i sztywność. Podczas pracy sprzętu półprzewodnikowego, obrót silników i ruch elementów mechanicznych wewnątrz sprzętu będzie generować wibracje. Podstawa granitowa może skutecznie absorbować ponad 90% energii wibracji, znacznie zmniejszając wpływ wibracji na dokładność sprzętu. Tymczasem jego niezwykle niski współczynnik rozszerzalności cieplnej umożliwia utrzymanie odkształcenia w bardzo małym zakresie, gdy temperatura otoczenia ulega wahaniom, zapewniając stabilną podstawę podporową dla sprzętu półprzewodnikowego i zapobiegając przemieszczaniu się elementów sprzętu z powodu zmian temperatury, co mogłoby mieć wpływ na dokładność.
Pod względem przetwarzania i produkcji fabryka ZHHIMG® przyjmuje międzynarodowy zaawansowany sprzęt do przetwarzania i ma cztery superduże szlifierki (każda maszyna kosztuje ponad 500 000 USD), które mogą wykonywać precyzyjne szlifowanie granitu. Dzięki pięcioosiowej obróbce CNC i innym procesom płaskość podstawy maszyny może osiągnąć poziom nanometrów, zapewniając ultrapłaską powierzchnię odniesienia do instalacji sprzętu półprzewodnikowego i gwarantując precyzyjne pozycjonowanie każdego komponentu sprzętu. Ponadto warsztat o stałej temperaturze i wilgotności (obejmujący powierzchnię 10 000 metrów kwadratowych) zapewnia stabilne środowisko do przetwarzania. Szerokie na 500 mm i głębokie na 2000 mm rowy antywibracyjne wokół niego, a także ciche dźwigi, skutecznie izolują zewnętrzne zakłócenia drgań i zapewniają dokładność przetwarzania podstawy maszyny.
Ponadto ZHHIMG® ma również silne możliwości dostosowywania. W przypadku specjalnych wymagań sprzętu półprzewodnikowego można prefabrykować precyzyjne otwory instalacyjne i korytka kablowe, aby uzyskać doskonałą kompatybilność między sprzętem a podstawą. Jednocześnie, w połączeniu ze światowej klasy sprzętem metrologicznym i testowym, takim jak niemiecki miernik minutowy Mahr (o dokładności 0,5 um) i szwajcarska poziomica elektroniczna WYLER, podstawa maszyny jest ściśle sprawdzana i kalibrowana, aby zapewnić, że każda podstawa maszyny może spełnić surowe wymagania sprzętu półprzewodnikowego dotyczące dokładności na poziomie submikronowym.
To właśnie połączenie tych zalet sprawia, że granitowa podstawa ZHHIMG® jest niezawodnym wyborem, jeśli chodzi o osiągnięcie precyzji submikronowej w sprzęcie półprzewodnikowym, co przyczynia się do przejścia produkcji półprzewodników w kierunku obszarów o wyższej precyzji.
Czas publikacji: 18-06-2025