W dziedzinie produkcji półprzewodników precyzja submikronowa jest kluczem do zapewnienia wydajności układów scalonych, a granitowa podstawa (ZHHIMG®), dzięki swoim właściwościom materiałowym, precyzyjnemu przetwarzaniu i innowacyjnej konstrukcji, stała się podstawową gwarancją uzyskania tej precyzji.
Z punktu widzenia właściwości materiałowych, czarny granit wybrany przez ZHHIMG® charakteryzuje się gęstością około 3100 kg/m³ i gęstą strukturą wewnętrzną. Ta wysoka gęstość zapewnia mu wyjątkową stabilność i sztywność. Podczas pracy urządzeń półprzewodnikowych, obroty silników i ruch elementów mechanicznych wewnątrz urządzenia generują wibracje. Granitowa podstawa może skutecznie absorbować ponad 90% energii wibracji, znacznie zmniejszając wpływ wibracji na dokładność urządzenia. Jednocześnie, wyjątkowo niski współczynnik rozszerzalności cieplnej pozwala na utrzymanie odkształceń w bardzo małym zakresie przy wahaniach temperatury otoczenia, zapewniając stabilną podstawę dla urządzeń półprzewodnikowych i zapobiegając przemieszczaniu się elementów urządzenia pod wpływem zmian temperatury, co mogłoby wpłynąć na dokładność.
W zakresie przetwarzania i produkcji, fabryka ZHHIMG® korzysta z międzynarodowego, zaawansowanego sprzętu i posiada cztery superduże szlifierki (każda maszyna kosztuje ponad 500 000 USD), które umożliwiają precyzyjne szlifowanie granitu. Dzięki pięcioosiowej obróbce CNC i innym procesom, płaskość podstawy maszyny może sięgać poziomu nanometrów, zapewniając ultrapłaską powierzchnię odniesienia do instalacji urządzeń półprzewodnikowych i gwarantując precyzyjne pozycjonowanie każdego komponentu urządzenia. Ponadto, warsztat o stałej temperaturze i wilgotności (o powierzchni 10 000 metrów kwadratowych) zapewnia stabilne środowisko do obróbki. Znajdujące się wokół niego rowy antywibracyjne o szerokości 500 mm i głębokości 2000 mm, a także ciche suwnice, skutecznie izolują zewnętrzne zakłócenia drgań i zapewniają precyzję obróbki podstawy maszyny.
Ponadto, ZHHIMG® oferuje również szerokie możliwości personalizacji. Aby spełnić specyficzne wymagania urządzeń półprzewodnikowych, możliwe jest wykonanie precyzyjnych otworów montażowych i korytek kablowych, co zapewnia idealną kompatybilność między urządzeniami a podstawą. Jednocześnie, w połączeniu ze światowej klasy sprzętem metrologicznym i testowym, takim jak niemiecki miernik minutowy Mahr (o dokładności 0,5 um) i szwajcarska poziomica elektroniczna WYLER, podstawa maszyny jest poddawana rygorystycznej kontroli i kalibracji, aby zapewnić, że każda podstawa maszyny spełnia rygorystyczne wymagania dotyczące dokładności urządzeń półprzewodnikowych na poziomie submikronowym.
To właśnie połączenie tych zalet sprawia, że granitowa podstawa ZHHIMG® jest niezawodnym wyborem, jeśli chodzi o osiągnięcie precyzji submikronowej w urządzeniach półprzewodnikowych, co przyczynia się do rozwoju produkcji półprzewodników w kierunku obszarów o wyższej precyzji.
Czas publikacji: 18-06-2025