W warsztacie produkującym półprzewodniki wymagania procesu produkcji układów scalonych dotyczące warunków środowiskowych i dokładności sprzętu są ekstremalne, a każde niewielkie odchylenie może prowadzić do znacznego spadku wydajności układu scalonego. Precyzyjna platforma ruchu bramowego XYZT opiera się na komponentach granitowych, które współpracują z innymi częściami platformy, tworząc solidny fundament dla osiągnięcia dokładności w skali nano.
Doskonałe właściwości blokowania wibracji
W warsztacie produkującym półprzewodniki, praca urządzeń peryferyjnych i chodzenie personelu mogą powodować wibracje. Struktura wewnętrzna elementów granitowych jest gęsta i jednorodna, z naturalnymi, wysokimi właściwościami tłumienia, niczym skuteczna „bariera” wibracji. Gdy drgania zewnętrzne są przenoszone na platformę XYZT, element granitowy może skutecznie tłumić ponad 80% energii drgań i redukować zakłócenia wibracji wpływające na dokładność ruchu platformy. Jednocześnie platforma jest wyposażona w precyzyjny system prowadzenia pływaka powietrznego, który współpracuje z elementami granitowymi. Prowadnica pływaka powietrznego wykorzystuje stabilną warstwę gazu utworzoną przez gaz pod wysokim ciśnieniem, aby zapewnić bezkontaktowy ruch zawieszenia ruchomych części platformy i zredukować niewielkie wibracje spowodowane tarciem mechanicznym. Razem zapewniają one utrzymanie dokładności pozycjonowania platformy na poziomie nanometrów w kluczowych procesach, takich jak litografia i trawienie chipów, oraz zapobiegają odchyleniom wzorów obwodów chipów spowodowanym wibracjami.
Doskonała stabilność termiczna
Wahania temperatury i wilgotności w warsztacie mają ogromny wpływ na dokładność urządzeń do produkcji chipów. Współczynnik rozszerzalności cieplnej granitu jest bardzo niski, zazwyczaj wynosi 5-7 ×10⁻⁶/℃, a jego rozmiar pozostaje praktycznie niezmienny przy zmianach temperatury. Nawet jeśli różnica temperatur między dniem a nocą w warsztacie lub wytwarzanie ciepła przez urządzenia powoduje wahania temperatury otoczenia, elementy granitowe mogą pozostać stabilne, zapobiegając odkształceniom platformy spowodowanym rozszerzalnością i kurczeniem cieplnym. Jednocześnie inteligentny system kontroli temperatury, wyposażony w platformę, monitoruje temperaturę otoczenia w czasie rzeczywistym, automatycznie dostosowuje klimatyzację i urządzenia rozpraszające ciepło oraz utrzymuje temperaturę w warsztacie na poziomie 20°C ±1°C. W połączeniu z zaletami stabilności cieplnej granitu, platforma zapewnia długotrwałą eksploatację, dokładność ruchu każdej osi zawsze spełnia standardy precyzji nanometrowej produkcji chipów, co gwarantuje dokładność wzoru litografii chipów i równomierną głębokość trawienia.
Spełnij potrzeby czystego środowiska
Zakład produkujący półprzewodniki musi utrzymywać wysoki poziom czystości, aby zapobiec zanieczyszczeniu chipa cząsteczkami kurzu. Sam granit nie wytwarza pyłu, a jego powierzchnia jest gładka i niełatwo go absorbować. Platforma jako całość ma konstrukcję całkowicie zamkniętą lub półzamkniętą, aby ograniczyć przedostawanie się pyłu z zewnątrz. Wewnętrzny system cyrkulacji powietrza jest połączony z systemem klimatyzacji, aby zapewnić czystość powietrza wewnątrz warsztatu na poziomie wymaganym przez proces produkcji chipów. W tym czystym środowisku elementy granitowe nie będą miały wpływu na wydajność z powodu erozji pyłu, a kluczowe komponenty platformy, takie jak precyzyjne czujniki i silniki, mogą również pracować stabilnie, zapewniając ciągłą i niezawodną gwarancję dokładności w skali nano dla produkcji chipów i pomagając przemysłowi półprzewodników w przejściu na wyższy poziom procesów.
Czas publikacji: 14-04-2025