W dziedzinie produkcji high-end i najnowocześniejszych badań naukowych, ultraprecyzyjny moduł ruchu pływaka powietrznego stał się kluczowym wyposażeniem do precyzyjnej obsługi i pomiaru dzięki swojej doskonałej precyzji działania. Granitowa podstawa precyzyjna, jako rdzeń nośny, ma surowe wymagania dotyczące środowiska pracy, a odpowiednie warunki środowiskowe są podstawą do zapewnienia jego stabilnej pracy i najlepszego efektu.
Po pierwsze kontrola temperatury: precyzyjny „stabilizator”
Chociaż granit jest znany ze swojej stabilności, nie jest całkowicie odporny na zmiany temperatury. Chociaż jego współczynnik rozszerzalności cieplnej jest niski, na ogół 5-7 ×10⁻⁶/℃, w scenariuszach sterowania ruchem ultraprecyzyjnym subtelne wahania temperatury mogą nadal powodować zmiany wymiarowe i wpływać na dokładność modułu. W warsztacie produkcji układów scalonych półprzewodnikowych proces litografii wymaga dokładności pozycjonowania na poziomie danami, a temperatura otoczenia waha się o 1 ° C, a podstawa granitowa o długości boku 1 metra może powodować liniowe rozszerzanie się lub kurczenie o 5-7 mikronów. Ta niewielka zmiana jest przenoszona przez moduł ruchu ultraprecyzyjnego pływaka powietrznego, co wystarcza, aby spowodować odchylenie wzoru litografii układu scalonego i znacznie zmniejszyć wydajność. Dlatego też, wyposażony w precyzyjną granitową podstawę unoszącego się w powietrzu ultraprecyzyjnego modułu ruchu, idealna temperatura środowiska pracy powinna być kontrolowana na poziomie 20 ° C ± 1 ° C, z pomocą precyzyjnego sprzętu o stałej temperaturze, takiego jak system klimatyzacji o stałej temperaturze i wilgotności, ciągły monitoring i regulacja temperatury otoczenia, aby zapewnić, że wahania temperatury mieszczą się w bardzo małym zakresie, utrzymują stabilność rozmiaru podstawy, aby zapewnić wysoką precyzję działania modułu.
Po drugie, zarządzanie wilgocią: klucz do ochrony przed wilgocią „kamienia”
Wilgotność to kolejny ważny czynnik wpływający na wydajność precyzyjnej podstawy granitowej. W środowisku o wysokiej wilgotności granit łatwo wchłania parę wodną, co może prowadzić do kondensacji na powierzchni, co nie tylko wpływa na stabilność połączenia granitu i ultraprecyzyjnego modułu ruchu pływaka powietrznego, ale także może powodować erozję powierzchni i zmniejszać połysk i dokładność w dłuższej perspektywie. W warsztacie szlifowania soczewek optycznych, jeśli wilgotność jest wyższa niż 60% RH przez długi czas, para wodna zaadsorbowana na powierzchni podstawy granitowej będzie zakłócać ruch suwaka pływaka gazowego, tak że dokładność szlifowania soczewek zostanie zmniejszona, a powierzchnia będzie wadliwa. Dlatego wilgotność względna środowiska pracy powinna być ściśle kontrolowana w zakresie 40%-60% RH, którą można monitorować i regulować w czasie rzeczywistym, instalując osuszacze powietrza, czujniki wilgotności i inny sprzęt, aby uniknąć uszkodzenia podstawy granitowej z powodu wysokiej wilgotności i zapewnić płynną pracę ultraprecyzyjnego modułu ruchu pływaka powietrznego.
Po trzecie, gwarancja czystości: „strażnik” precyzji
Nie można przecenić szkód wyrządzanych przez cząsteczki pyłu na precyzyjnej granitowej podstawie ultraprecyzyjnego modułu ruchu flotacji powietrznej. Gdy drobne cząsteczki dostaną się do szczeliny filmu gazowego między suwakiem pływaka gazowego a granitową podstawą, mogą zniszczyć jednorodność filmu gazowego, zwiększyć tarcie, a nawet zarysować powierzchnię podstawy, co spowoduje zmniejszenie dokładności ruchu. W warsztacie obróbki ultraprecyzyjnej części lotniczych, jeśli cząsteczki pyłu w powietrzu spadną na granitową podstawę, trajektoria ruchu narzędzia obróbczego może zostać odchylona, co wpłynie na dokładność obróbki części. Dlatego obszar roboczy powinien być utrzymywany w wysokiej czystości, osiągając 10 000 lub nawet wyższe poziomy standardów czystości, poprzez instalację urządzeń do oczyszczania powietrza, takich jak filtry powietrza o wysokiej wydajności (HEPA), filtrujące cząsteczki pyłu w powietrzu, w tym samym czasie personel musi nosić odzież bezpyłową, ochraniacze na buty itp., aby zmniejszyć kurz wnoszony przez ludzi. Utrzymuj wysoce precyzyjne środowisko pracy granitowej podstawy i ultraprecyzyjnego modułu ruchu flotacji powietrznej.
Cztery, izolacja wibracji: płynna praca „podkładki amortyzującej”
Zewnętrzne drgania są wrogiem precyzji ultraprecyzyjnego modułu ruchu pływaka powietrznego. Chociaż precyzyjna granitowa podstawa ma pewną zdolność tłumienia drgań, drgania o dużej wytrzymałości mogą nadal przekraczać jej limit buforowy. Drgania generowane przez ruch wokół fabryki i działanie dużego sprzętu mechanicznego są przenoszone na granitową podstawę przez podłoże, co będzie zakłócać dokładność ruchu ultraprecyzyjnego modułu ruchu pływaka powietrznego. W przypadku wysokiej klasy CMM drgania mogą powodować niestabilność styku sondy pomiarowej z mierzonym przedmiotem, co skutkuje odchyleniem danych pomiarowych. Aby rozwiązać ten problem, konieczne jest przyjęcie skutecznych środków izolacji drgań, takich jak układanie podkładek izolujących drgania w obszarze instalacji sprzętu, budowanie fundamentu izolującego drgania lub stosowanie aktywnego systemu izolacji drgań w celu aktywnego kompensowania drgań zewnętrznych i tworzenia cichego i stabilnego środowiska pracy dla precyzyjnej granitowej podstawy i ultraprecyzyjnego modułu ruchu pływaka powietrznego.
Tylko dzięki pełnemu spełnieniu wymagań środowiskowych dotyczących temperatury, wilgotności, czystości i kontroli wibracji, granitowa precyzyjna podstawa ultraprecyzyjnego modułu ruchu pływaka powietrznego może w pełni wykorzystać swoje zalety, zapewnić niezawodną gwarancję ultraprecyzyjnych operacji w różnych dziedzinach i pomóc branży w przejściu na wyższy poziom precyzyjnej produkcji i badań naukowych.
Czas publikacji: 08-kwi-2025