W dziedzinie precyzyjnej produkcji i badań naukowych płaskość granitowych platform precyzyjnych jest kluczowym wskaźnikiem zapewniającym dokładność sprzętu. Poniżej znajduje się szczegółowy wstęp do kilku głównych metod wykrywania i ich procedur operacyjnych.
I. Interferometr laserowy Metoda detekcji
Interferometr laserowy jest preferowanym narzędziem do precyzyjnego wykrywania płaskości. Weźmy na przykład interferometr laserowy ZYGO GPI XP, którego rozdzielczość może osiągnąć 0,1 nm. Podczas przeprowadzania wykrywania najpierw ustaw źródło światła interferometru względem platformy i podziel powierzchnię platformy na obszary siatki 50 mm × 50 mm. Następnie dane dotyczące prążków interferencyjnych zbierano punkt po punkcie, a następnie dopasowano je i przeanalizowano przy użyciu wielomianu Zernike'a w celu uzyskania błędu płaskości. Ta metoda jest stosowana do platform o wysokiej precyzji i może wykrywać błędy płaskości ≤0,5 μm/m². Jest powszechnie stosowana do wykrywania maszyn fotolitograficznych i zaawansowanych platform maszyn pomiarowych trójwspółrzędnych.
II. Metoda elektronicznej tablicy poziomów
Wykrywanie matrycy elektronicznego poziomu jest proste w obsłudze i wysoce wydajne. Elektroniczna matryca TESA A2 (o rozdzielczości 0,01 μm/m) została wybrana i ustawiona w matrycy 9×9 wzdłuż osi X/Y platformy. Poprzez synchroniczne zbieranie danych nachylenia każdego poziomu, a następnie użycie metody najmniejszych kwadratów do obliczeń, można dokładnie uzyskać wartość płaskości. Ta metoda może skutecznie identyfikować lokalne warunki wklęsłości i wypukłości platformy. Na przykład można również wykryć fluktuację 0,2 μm w zakresie 50 mm, co jest odpowiednie do szybkiego wykrywania w produkcji masowej.
III. Metoda optycznego płaskiego kryształu
Metoda optycznego płaskiego kryształu nadaje się do wykrywania platform o małej powierzchni. Przymocuj ściśle optyczny płaski kryształ do testowanej powierzchni na platformie i obserwuj frędzle interferencyjne utworzone między nimi pod oświetleniem monochromatycznego źródła światła (takiego jak lampa sodowa). Jeśli paski są równoległymi prostymi paskami, oznacza to dobrą płaskość. Jeśli pojawią się zakrzywione paski, oblicz błąd płaskości na podstawie stopnia krzywizny paska. Każdy zakrzywiony pasek reprezentuje różnicę wysokości 0,316 μm, a dane dotyczące płaskości można uzyskać poprzez prostą konwersję.
Cztery. Trójwspółrzędna maszyna pomiarowa Metoda kontroli
Trójwspółrzędna maszyna pomiarowa może osiągnąć pomiar o wysokiej precyzji w przestrzeni trójwymiarowej. Umieść platformę granitową na stole roboczym maszyny pomiarowej i użyj sondy, aby równomiernie zebrać dane z wielu punktów pomiarowych na powierzchni platformy. System maszyny pomiarowej przetwarza i analizuje te dane, aby wygenerować raport płaskości platformy. Ta metoda może nie tylko wykryć płaskość, ale także uzyskać jednocześnie inne parametry geometryczne platformy i nadaje się do kompleksowego wykrywania dużych platform granitowych.
Znajomość tych metod wykrywania pomoże Ci dokładnie ocenić płaskość granitowej platformy precyzyjnej i zapewni niezawodną gwarancję stabilnej pracy precyzyjnego sprzętu.
Czas publikacji: 29-05-2025