W dziedzinie produkcji precyzyjnej i badań naukowych płaskość granitowych platform precyzyjnych jest kluczowym wskaźnikiem zapewniającym dokładność sprzętu. Poniżej znajduje się szczegółowe wprowadzenie do kilku popularnych metod detekcji i ich procedur operacyjnych.
I. Interferometr laserowy Metoda detekcji
Interferometr laserowy jest preferowanym narzędziem do precyzyjnej detekcji płaskości. Weźmy na przykład interferometr laserowy ZYGO GPI XP, którego rozdzielczość sięga 0,1 nm. Podczas detekcji należy najpierw ustawić źródło światła interferometru względem platformy i podzielić powierzchnię platformy na obszary siatki o wymiarach 50 mm x 50 mm. Następnie dane dotyczące prążków interferencyjnych zbierano punkt po punkcie, a następnie dopasowano i przeanalizowano za pomocą wielomianu Zernike'a w celu uzyskania błędu płaskości. Metoda ta ma zastosowanie do platform o wysokiej precyzji i umożliwia wykrywanie błędów płaskości ≤0,5 μm/m². Jest powszechnie stosowana w detekcji urządzeń fotolitograficznych i zaawansowanych platformach trójwspółrzędnych maszyn pomiarowych.
II. Metoda elektronicznej tablicy poziomniczej
Elektroniczny układ detekcji niwelatora jest prosty w obsłudze i niezwykle wydajny. Elektroniczny niwelator TESA A2 (o rozdzielczości 0,01 μm/m) został wybrany i ułożony w układzie 9×9 wzdłuż osi X/Y platformy. Synchronizując dane dotyczące nachylenia każdego niwelatora, a następnie stosując metodę najmniejszych kwadratów do obliczeń, można dokładnie uzyskać wartość płaskości. Metoda ta pozwala skutecznie określić lokalne warunki wklęsłości i wypukłości platformy. Na przykład, możliwe jest również wykrycie fluktuacji rzędu 0,2 μm w zakresie 50 mm, co jest odpowiednie do szybkiej detekcji w produkcji masowej.
III. Metoda optycznego płaskiego kryształu
Metoda płaskiego kryształu optycznego nadaje się do detekcji platform o małej powierzchni. Przymocuj płaski kryształ optyczny ściśle do badanej powierzchni na platformie i obserwuj prążki interferencyjne utworzone między nimi pod oświetleniem monochromatycznym źródłem światła (np. lampą sodową). Jeśli paski są równoległymi, prostymi paskami, oznacza to dobrą płaskość. Jeśli pojawią się zakrzywione paski, oblicz błąd płaskości na podstawie stopnia krzywizny paska. Każdy zakrzywiony pasek reprezentuje różnicę wysokości 0,316 μm, a dane dotyczące płaskości można uzyskać poprzez proste przeliczenie.
Cztery. Trójwspółrzędna maszyna pomiarowa Metoda kontroli
Trójwspółrzędna maszyna pomiarowa umożliwia wykonywanie precyzyjnych pomiarów w przestrzeni trójwymiarowej. Umieść platformę granitową na stole roboczym maszyny pomiarowej i użyj sondy, aby równomiernie zebrać dane z wielu punktów pomiarowych na powierzchni platformy. System maszyny pomiarowej przetwarza i analizuje te dane, generując raport płaskości platformy. Ta metoda pozwala nie tylko na wykrycie płaskości, ale także na jednoczesne uzyskanie innych parametrów geometrycznych platformy i nadaje się do kompleksowego wykrywania dużych platform granitowych.
Znajomość tych metod wykrywania może pomóc w dokładnej ocenie płaskości platformy precyzyjnej granitu i zapewnić niezawodną gwarancję stabilnej pracy precyzyjnego sprzętu.
Czas publikacji: 29 maja 2025 r.