Przemysł półprzewodnikowy działa w skali precyzji, która przesuwa granice ludzkiej pomysłowości. W centrum kontroli jakości w tej branży – ostatnim, krytycznym etapie przed uznaniem układu scalonego za gotowy do wprowadzenia na rynek – leży pozornie prosty materiał: granit. Precyzyjne platformy granitowe to w szczególności najlepsze rozwiązanie do kontroli układów scalonych, co może zaskoczyć osoby spoza branży. W ZHONGHUI Group (ZHHIMG®) doskonale rozumiemy tę relację. Nasze doświadczenie w wytwarzaniu ultraprecyzyjnych komponentów granitowych i narzędzi pomiarowych uczyniło nas kluczowym partnerem dla wiodących światowych firm z branży półprzewodników i metrologii. Wykorzystanie granitu w tym krytycznym zastosowaniu nie jest kwestią tradycji, lecz czystej fizyki i inżynierii. Chodzi o spełnienie zestawu unikalnych i wymagających wymagań, których żaden inny materiał nie jest w stanie spełnić tak skutecznie.
Nieustępliwe zapotrzebowanie na stabilność
Kontrola układów scalonych półprzewodników to nie tylko sprawdzanie defektów, ale także weryfikacja, czy cechy mikroskopowe, często mierzone w nanometrach, są idealnie ukształtowane. Proces ten wymaga użycia zaawansowanego sprzętu, takiego jak optyczne systemy kontroli (AOI) i przemysłowe tomografy komputerowe, które muszą zachować idealną stabilność podczas skanowania. Wszelkie drgania, rozszerzalność cieplna lub dryft strukturalny mogą powodować błędy, prowadząc do wyników fałszywie dodatnich lub, co gorsza, do przeoczenia defektów.
To właśnie tutaj granit błyszczy. W przeciwieństwie do metalu, który znacznie rozszerza się i kurczy pod wpływem zmian temperatury, granit ma niezwykle niski współczynnik rozszerzalności cieplnej. Nasz czarny granit ZHHIMG® ma gęstość około 3100 kg/m³, co zapewnia wyjątkową stabilność termiczną. Oznacza to, że granitowa platforma zachowa swój kształt i płaskość nawet w środowiskach o niewielkich wahaniach temperatury. W klimatyzowanym warsztacie, takim jak nasz obiekt o powierzchni 10 000 m², gdzie temperatura jest utrzymywana z wojskową precyzją, stabilność granitu jest niezrównana.
Co więcej, doskonałe właściwości tłumiące granitu są niezwykle istotne. Naturalnie pochłania i rozprasza drgania mechaniczne, zapobiegając ich przenoszeniu na delikatny sprzęt kontrolny. W zatłoczonym zakładzie produkcyjnym, pełnym maszyn, tłumienie drgań ma kluczowe znaczenie dla zachowania integralności pomiarów. Nasze warsztaty zostały zaprojektowane z myślą o tym, oferując ultragrube betonowe posadzki i rowki antywibracyjne, tworząc środowisko, w którym nasi rzemieślnicy mogą osiągnąć precyzję rzędu nanometrów.
Dążenie do absolutnej płaskości
Aby system kontroli układów scalonych działał, jego podstawa musi być jak najbardziej płaska. Pojęcie „płaskiej powierzchni” w tym kontekście nie jest pojęciem wizualnym, lecz matematycznym, mierzonym za pomocą instrumentów takich jak interferometry laserowe Renishaw i elektroniczne poziomnice Swiss Wyler. Celem inspektora układów scalonych jest zmierzenie płaskości układu scalonego z dokładnością do kilku mikronów, a nawet nanometrów. Aby to zrobić, sama platforma musi być o rzędy wielkości bardziej płaska.
Granit to materiał, który dzięki naszym specjalistycznym technikom ręcznego szlifowania można oszlifować do poziomu płaskości praktycznie niespotykanego. Nasi mistrzowie rzemiosła, z których wielu ma ponad 30-letnie doświadczenie, posiadają zmysł dotyku, który pozwala im „wyczuć” odchyłki płaskości rzędu zaledwie kilku mikronów. To ludzkie podejście, w połączeniu z naszym światowej klasy sprzętem, pozwala nam wytwarzać granitowe płyty powierzchniowe o płaskości na poziomie nanometrów, co czyni je idealną płaszczyzną odniesienia do kalibracji i inspekcji. To fundament, na którym opiera się precyzyjna inspekcja półprzewodników.
Spełnianie wyjątkowych wymagań branży półprzewodników
Branża półprzewodników ma również specyficzne potrzeby wykraczające poza stabilność i płaskość. Na przykład, wiele systemów inspekcyjnych wykorzystuje łożyska powietrzne, aby zapewnić ruch bez tarcia. Granit jest doskonałym materiałem na prowadnice z łożyskami powietrznymi ze względu na swoją sztywność i porowatość, które umożliwiają precyzyjny, równomierny przepływ powietrza. Nasze granitowe łożyska powietrzne są obrabiane na zamówienie, aby zapewnić płynny i precyzyjny ruch, niezbędny do szybkiej i precyzyjnej inspekcji.
Ponadto nasz czarny granit ZHHIMG® jest niemagnetyczny i nieprzewodzący, co jest kluczowe w przypadku delikatnych podzespołów elektronicznych. Nie zakłóca on pól elektromagnetycznych sprzętu testującego ani samego układu scalonego. Ta neutralność to cecha, której wiele platform metalowych po prostu nie oferuje.
W ZHHIMG® nie tylko sprzedajemy granit. Zapewniamy fundament dla najnowocześniejszych technologii na świecie. Naszym zobowiązaniem wobec klientów jest dostarczanie rozwiązań, które nie oszukują, nie ukrywają i nie wprowadzają w błąd. Ściśle współpracujemy z naszymi partnerami, w tym z gigantami takimi jak Samsung, oraz instytucjami metrologicznymi, aby zapewnić, że nasze produkty nie tylko spełniają ich specyfikacje, ale także przyczyniają się do rozwoju ich technologii. W grze o wysoką stawkę, jaką jest produkcja półprzewodników, precyzyjne platformy granitowe ZHHIMG® to cicha, nieruchoma siła, zapewniająca stabilność i dokładność, które pozwalają urzeczywistnić innowacje jutra.
Czas publikacji: 28.09.2025