Systemy łożysk powietrznych z granitu są szeroko stosowane wultraprecyzyjnyplatformy ruchu do produkcji półprzewodników, regulacji optycznej i metrologii w skali nanometrycznej.
Systemy te eliminują kontakt mechaniczny poprzez wykorzystanie cienkiej warstwy sprężonego powietrza, co pozwala uzyskać ruch o niemal zerowym tarciu.
Zasada łożyska powietrznego
Łożyska powietrzne działają na zasadzie wprowadzania sprężonego powietrza między dwie powierzchnie, tworząc warstwę powietrza o grubości 2–20 μm.
Eliminuje to:
- Tarcie mechaniczne
- Nosić
- Zachowanie typu stick-slip
System opiera się na dynamice filmu cieczowego i stabilnym przepływie laminarnym.
Rola granitu
Granit zapewnia:
- Stabilność strukturalna
- Tłumienie dryfu termicznego
- Tłumienie drgań
Stanowi mechaniczną bazę odniesienia dla układu ruchu.
Komponenty systemu
- Podstawa granitowa
- Podkładki łożysk powietrznych
- Układ zasilania powietrzem
- Precyzyjne enkodery
- System sterowania ruchem
Charakterystyka wydajności
Typowe parametry obejmują:
- Dokładność pozycjonowania poniżej mikrona
- Wysoka prostoliniowość przy długim przesuwie
- Zerowy luz mechaniczny
Do głównych źródeł błędów zalicza się niestabilność ciśnienia powietrza, dryft termiczny i błąd enkodera.
Aplikacje
- Inspekcja płytek półprzewodnikowych
- Systemy litograficzne
- Platformy do ustawiania optycznego
- Maszyny metrologiczne najwyższej klasy
Często zadawane pytania
Czy łożyska powietrzne ulegają zużyciu?
Brak kontaktu mechanicznego eliminuje zużycie.
Dlaczego warto używać granitu?
Dla zapewnienia stabilności i tłumienia drgań.
Co ogranicza dokładność?
Stabilność powietrza i efekty termiczne.
Czy mogą przenosić ciężkie ładunki?
Tak, w zależności od projektu.
Czas publikacji: 03-07-2026